恭喜隔热半导体粘合技术公司C·E·尤佐获国家专利权
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龙图腾网恭喜隔热半导体粘合技术公司申请的专利用于处理器件的技术获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113410133B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110686074.5,技术领域涉及:H01L21/18;该发明授权用于处理器件的技术是由C·E·尤佐;L·W·米卡里米;G·高;G·G·小方丹设计研发完成,并于2019-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于处理器件的技术在说明书摘要公布了:本申请的各实施例涉及用于处理器件的技术。代表性技术提供用于形成微电子组件的过程步骤,包括准备用于结合的微电子部件,诸如管芯、晶圆、衬底等。该微电子部件的一个或多个表面被形成和准备为结合表面。该微电子部件在该准备的结合表面处堆叠并结合而无需粘合剂。
本发明授权用于处理器件的技术在权利要求书中公布了:1.一种形成微电子组件的方法,包括:准备第一衬底的结合表面,包括基于第一气体、利用第一等离子体激活所述第一衬底的所述结合表面;形成第二衬底的结合表面;将所述第二衬底安装到切割层;在所述第二衬底被安装到所述切割层的同时将所述第二衬底分割成多个管芯,所述多个管芯中的每个管芯具有包括所述第二衬底的所述结合表面的一部分的结合表面;在所述多个管芯被安装到所述切割层的同时处理所述多个管芯,包括基于与所述第一气体不同的第二气体、利用第二等离子体清洁所述管芯的所述结合表面;选择所述多个管芯中的管芯;以及在没有粘合剂并且在所述管芯被安装到所述切割层的同时不激活所述管芯的所述结合表面的情况下,将所述管芯的所述结合表面直接结合到所述第一衬底的所述结合表面。
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