恭喜株式会社荏原制作所宫崎充获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利基板清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111799211B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010262609.1，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权基板清洗装置是由宫崎充设计研发完成，并于2020-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板清洗装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板支承装置及基板清洗装置，本发明的基板支承装置100具有：支承部10，该支承部10用于支承基板W；移动部50，该移动部50抵接于所述支承部10，并用于使所述支承部10沿着轴线方向移动；流体管60，该流体管60的至少一部分设于所述移动部50内，供流体流动，且当所述移动部50抵接于所述支承部10时，通过所述支承部10覆盖流出口61；以及检测部90，该检测部90检测前述流体的状态。
本发明授权基板清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备基板支承装置和控制部，所述基板支承装置具备：支承部，该支承部用于支承基板；移动部，该移动部抵接于所述支承部，并用于使所述支承部沿着轴线方向移动；流体管，该流体管的至少一部分设于所述移动部内，供流体流动，且当所述移动部抵接于所述支承部时，通过所述支承部覆盖流出口；以及检测部，该检测部检测所述流体的状态，所述控制部依据来自所述检测部的信息，判断所述移动部是否抵接于所述支承部，在各流体管设置有检测部，该检测部检测流经该流体管的流体的压力或流量，所述控制部依据来自各检测部的检测结果来检测异常，当通过所述控制部判断为某个移动部抵接于某个支承部的时间与判断为另外的移动部抵接于另外的支承部的时间之间的间隔经过第一时间以上时，所述控制部判断为发生异常。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社荏原制作所，其通讯地址为：日本国东京都大田区羽田旭町11番1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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