恭喜罗伯特·博世有限公司J·赖因穆特获国家专利权
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龙图腾网恭喜罗伯特·博世有限公司申请的专利用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111807310B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010283973.6,技术领域涉及:B81B3/00;该发明授权用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件是由J·赖因穆特设计研发完成,并于2020-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件在说明书摘要公布了:本发明涉及用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件,其具有衬底表面10a、在衬底表面10a上张紧的膜片12,该膜片具有可翘曲的无支撑区域、所连接的杠杆元件16a至16d和连接在该杠杆元件上的电极18a、18b、44,其中,在无支撑区域翘曲的情况下杠杆元件16a至16d能被置入旋转运动中,由此,所连接的电极18a、18b、44能被置入分别倾斜于衬底表面10a定向的调节运动中,其中,杠杆元件16a至16d通过第一扭转弹簧20a至20d连接在无支撑区域上,通过第二扭转弹簧22a至22d连接在衬底表面10a上,并通过第三扭转弹簧24a至24d连接在电极18a、18b上。本发明还涉及电容式传感器设备或开关设备和用于微机械构件的制造方法。
本发明授权用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件在权利要求书中公布了:1.一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件,具有:衬底10,该衬底具有衬底表面10a;至少一个直接或间接地在所述衬底表面10a上张紧的膜片12,该膜片具有至少一个无支撑区域,所述无支撑区域分别能借助施加到对应的所述无支撑区域上的力F翘曲;以及至少一个杠杆元件和至少一个连接在所述至少一个杠杆元件上的电极,其中,所述至少一个杠杆元件连接在所述至少一个无支撑区域上,使得在所述至少一个无支撑区域翘曲的情况下所述至少一个杠杆元件能被置于旋转运动中,由此,所连接的所述至少一个电极能被置于分别相对于所述衬底表面10a倾斜地定向的调节运动中,其特征在于,所述至少一个杠杆元件至少通过每个杠杆元件的各一个第一扭转弹簧连接在所述至少一个无支撑区域上,至少通过每个杠杆元件的各一个第二扭转弹簧连接在所述衬底表面10a上或在所述衬底表面10a上沉积的至少一个层上,并且至少通过每个杠杆元件的各一个第三扭转弹簧连接在所述至少一个电极上。
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