恭喜东京毅力科创株式会社丹尼尔·富尔福德获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利用于调整衬底上膜的应力过渡的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114097062B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080050799.9，技术领域涉及：H01L21/027；该发明授权用于调整衬底上膜的应力过渡的方法是由丹尼尔·富尔福德;约迪·格热希科维亚克;安东·德维利耶设计研发完成，并于2020-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于调整衬底上膜的应力过渡的方法在说明书摘要公布了：本披露内容涉及一种用于调整衬底上膜的应力过渡的方法。该方法包括：在该衬底上形成应力调节层，其中，该应力调节层包括由第一材料形成的第一区域以及由第二材料形成的第二区域，其中，该第一材料包括第一内应力，而该第二材料包括第二内应力，并且其中，该第一内应力与该第二内应力相比是不同的；以及在这些第一区域与这些第二区域之间形成过渡区域，其中，这些过渡区域包括该第一材料与该第二材料之间的界面，该界面具有大于零度且小于90度的预定斜坡。
本发明授权用于调整衬底上膜的应力过渡的方法在权利要求书中公布了：1.一种调节衬底上的应力的方法，该方法包括：在该衬底上沉积第一层第一材料；在该第一层上沉积第二层第二材料；改变该第二层在该衬底上的一个或多个坐标位置处的溶解度，其中，在该一个或多个坐标位置中的每个坐标位置处从该第二层的顶表面向下到该第二层中的预定深度的溶解度上改变该第二层的溶解度，并且其中，改变该第二层的溶解度包括创建过渡区域，该过渡区域限定了该过渡区域上的溶解度变化预定斜坡；以及使用显影剂去除该第二层的可溶性部分，使得该第二层的其余部分在该过渡区域中包括从该第二层的第一z高度至该第二层的第二z高度的该预定斜坡，其中，该第二层的第一z高度小于该第二层的第二z高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号