恭喜应用材料股份有限公司基斯·E·卡威尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料股份有限公司申请的专利离子植入系统以及与其一起使用的监测电路获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556517B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080073445.6，技术领域涉及：H01J37/24；该发明授权离子植入系统以及与其一起使用的监测电路是由基斯·E·卡威尔设计研发完成，并于2020-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子植入系统以及与其一起使用的监测电路在说明书摘要公布了：公开一种包括拾波回路以监测对直线加速器的腔室施加的电压的监测电路，具体而言，公开一种离子植入系统以及与其一起使用的监测电路。监测电路与直线加速器电隔离且也与从电路接收输入且控制直线加速器的控制器电隔离。在某些实施例中，监测电路还包括能量采集器以在与控制器不存在任何实体连接的情况下捕获能量。举例来说，此可使用光能或电磁能来达成。在某些实施例中，监测电路包括模数转换器以将从拾波回路接收到的信号转换成数字值。在其他实施例中，监测电路将模拟电压传递到控制器。来自监测电路的输出可包括正在对相应的腔室施加的电压的振幅及相位。
本发明授权离子植入系统以及与其一起使用的监测电路在权利要求书中公布了：1.一种离子植入系统，包括：离子源，用于产生离子；直线加速器，用于使所述离子朝向工件加速，其中所述直线加速器包括一个或多个腔室，励磁线圈与共振器线圈设置在所述腔室一个或多个腔室的每一腔室中，所述共振器线圈由所述励磁线圈所形成的电磁场供能，且所述励磁线圈由射频产生器供应的励磁电压供能；控制器；以及监测电路，包括：拾波回路，靠近所述一个或多个腔室中的一者设置，以从所述一个或多个腔室中的所述一者接收感应信号，其中所述感应信号由所述腔室一个或多个腔室内或附近的电磁场感应；收发器，用于传输及接收来自所述控制器的信息；其中所述监测电路与所述控制器及所述直线加速器电隔离。
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