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龙图腾网恭喜中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种射频功率控制方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114520677B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011298578.1，技术领域涉及：H04B7/005；该发明授权一种射频功率控制方法及等离子体处理装置是由赵馗;饭塚浩;倪图强设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频功率控制方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种射频功率控制方法，等离子体反应装置包含若干个电感耦合线圈，射频功率源的射频功率通过匹配网络分配到电感耦合线圈的第一至第M线圈上，使得等离子体反应装置的真空反应腔内产生等离子体，所述控制方法包含：同步射频功率源的输出时钟信号；探测第i线圈的第i电流信号，转换所述第i电流信号为对应的第i脉冲直流信号；根据所述输出时钟信号对第i脉冲直流信号进行处理后计算对应的第i电流反馈值；根据所述第i电流反馈值调整分配到第i线圈上的射频功率；其中i∈[1,M]。本发明还提供一种等离子体处理装置。本发明能够精确控制施加在所有线圈的射频功率，并不受射频功率源的输出方式限制。

本发明授权一种射频功率控制方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种射频功率控制方法，等离子体反应装置包含等离子体反应腔，所述反应腔上方设置多个电感耦合线圈，射频功率源的射频功率通过匹配网络分配到所述电感耦合线圈的多个线圈上使得反应腔内产生等离子体，所述多个线圈记为第一至第M线圈，其特征在于，所述射频功率控制方法包含：同步射频功率源的输出时钟信号；探测第i线圈的第i电流信号；转换所述第i电流信号为对应的第i脉冲直流信号；根据所述输出时钟信号对第i脉冲直流信号进行处理后计算对应的第i电流反馈值；所述处理包括对所述第i脉冲直流信号进行采样和去噪；所述输出时钟信号处于高电平时采样第i脉冲直流信号；所述去噪实施为去除第i脉冲直流信号上升沿和下降沿的采样信号；将采集并去噪后的多个采样信号求均值得到所述第i电流反馈值；根据所述第i电流反馈值调整分配到第i线圈上的射频功率；其中i∈[1,M]。

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