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龙图腾网恭喜西安理工大学申请的专利一种用于激光精密加工的装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112935529B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110349241.7，技术领域涉及：B23K26/04；该发明授权一种用于激光精密加工的装置及其方法是由王馨梅;王伟;熊培羽;陈炜龙;刘旭阳;邢毓华;张翔;申晓昂;赵晨晨设计研发完成，并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于激光精密加工的装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于激光精密加工的装置，包括光电传感器阵列架，光电传感器阵列架的中心处设有激光头，激光头的正下方设有加工平台，加工平台上设有加工工件，激光头经激光出光口发射的激光束垂直照射至加工工件上，所述激光束对加工工件进行烧蚀产生等离子体辐射光信号；加工平台的下方设有三自由度平移台。本发明还公开了一种用于激光精密加工的装置的加工方法，本发明解决了目前行业内无法自动精准地跟随激光焦点位置的问题。

本发明授权一种用于激光精密加工的装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种用于激光精密加工的装置的加工方法，其特征在于：该装置包括光电传感器阵列架，光电传感器阵列架的中心处设有激光头，激光头的正下方设有加工平台，加工平台上设有加工工件，激光头经激光出光口发射的激光束垂直照射至加工工件上，所述激光束对加工工件进行烧蚀产生等离子体辐射光信号；加工平台的下方设有三自由度平移台；所述光电传感器阵列架包括圆形的架体，架体被均匀分成四个圆弧架，位于同一对角线上的两个圆弧架上分别同时设有宽禁带紫外传感器和硅光电传感器，架体朝向加工工件的一侧设有摄像头，摄像头、宽禁带紫外传感器及硅光电传感器位于架体的同一侧；宽禁带紫外传感器及硅光电传感器分别依次连接有加法器、积分器、ADC处理器及微控制器，微控制器还连接摄像头；所述架体上均匀开设有四个凹槽，四个所述凹槽将圆形的架体分隔成四个圆弧架；所述激光头的四周分别通过四个螺栓与架体连接，四个螺栓嵌在四个凹槽内；四个所述螺栓与激光头的接触处设有压力缓冲垫；该方法具体包括如下步骤：步骤1，通过三自由度平移台带动加工平台向下移动，至加工平台最低位置处，将激光头固定在光电传感器阵列架的中心处，设定加工过程中宽禁带紫外传感器采集数据的期望值为Ex1、允许误差为Err1、摄像头拍摄激光光斑期望几何尺寸为R、加工时X轴方向最小步进长度为Dx、Z轴方向最小步进长度为Dz；设加工时宽禁带紫外传感器的最小信号值为pmin、硅光电传感器的最小信号值为smin、加工平台沿Z轴正方向的最大移动长度为L；步骤2，激光头经激光出光口发射的激光束照射至加工工件上，激光束对加工工件进行烧蚀产生等离子体辐射可见光信号和等离子体辐射紫外光信号，摄像头拍摄加工工件表面激光光斑、硅光电传感器采集等离子体辐射可见光信号、宽禁带紫外传感器采集等离子体辐射紫外光信号一并发送至微控制器；加工平台沿Z轴向上移动L后停止并转为向下移动；步骤3，宽禁带紫外传感器采集烧蚀过程中的等离子体辐射紫外光信号，等离子体辐射紫外光信号依次通过加法器、积分器、ADC处理器获得当前等离子体紫外光辐射值Lnow，发送至微控制器，若|Lnow–Ex1|≤Err1，加工平台停止下降；若|Lnow–Ex1|Err1,加工平台继续下降；步骤4，对加工工件在加工过程中进行实时随焦；步骤5，重复执行步骤4直至加工完成，关闭激光，装置回车。

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