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恭喜京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司王丹名获国家专利权

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龙图腾网恭喜京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司申请的专利掩模组件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114582723B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210210772.2,技术领域涉及:H01L21/32;该发明授权掩模组件及其制备方法是由王丹名;李聪;张帅设计研发完成,并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

掩模组件及其制备方法在说明书摘要公布了:本公开实施例提供一种掩模组件及其制备方法,其中,该掩模组件包括掩模版,掩模版的周缘设置有夹持槽;夹盖,夹盖的形状与夹持槽的形状适配;掩模版位于夹持槽之外的表面以及夹盖的表面均设置有氧化膜。本公开实施例的技术方案可以避免夹持槽的表面与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀,从而避免污染工艺环境。

本发明授权掩模组件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种掩模组件,其特征在于,包括:掩模版,所述掩模版的周缘设置有夹持槽;夹盖,所述夹盖的形状与所述夹持槽的形状适配;其中,所述掩模版位于所述夹持槽之外的表面以及所述夹盖的表面均设置有氧化膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司,其通讯地址为:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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