恭喜智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜智慧星空(上海)工程技术有限公司;深圳智达星空科技(集团)有限公司申请的专利一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115077417B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210682665.X，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统在说明书摘要公布了：本发明属于精密测量技术领域，具体涉及一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统，集成式干涉测量头包括两组集成在一起的干涉测量组件，一组进行对被测物体的形貌测量，另一组实现第一组的位置反馈，能够更好补偿机械移动误差；同时本发明采用一组PZT模块同时实现两组测量组件的干涉相位调节，能够减少了PZT模块数量。本发明整体上缩小了干涉测量系统的体积、降低了机械误差及相位误差的补偿难度、提高了三维形貌测量精度。
本发明授权一种集成式干涉测量头及一种干涉测量系统在权利要求书中公布了：1.一种集成式干涉测量头，其特征在于，包括：第一光线入口，用于点出射及点接收光线；第二光线入口，用于点出射及点接收光线；第一准直透镜，焦点设置在所述第一光线入口处；第二准直透镜，焦点设置在所述第二光线入口处；第一分光镜，将所述第一准直透镜的出射光路部分透射部分反射，反射的所述光线的至少一部分原路返回至所述第一准直透镜，透射的所述光线传递至第一被测物；第二分光镜，将所述第二准直透镜的出射光路部分透射部分反射，反射的所述光线的至少一部分原路返回至所述第二准直透镜的光轴，透射的所述光线传递至第二被测物；其中：所述集成式干涉测量头还包括PZT模块；所述PZT模块带动所述第一分光镜及第二分光镜做移动方式相同的直线运动，调节所述第一分光镜与所述第一准直透镜之间的光程及所述第二分光镜与所述第二准直透镜之间的光程。
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