恭喜上海众壹云计算科技有限公司殷学根获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海众壹云计算科技有限公司申请的专利一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115034640B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210711207.4,技术领域涉及:G06Q10/0635;该发明授权一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法及装置是由殷学根;沈剑;金肖明;陆佳俊设计研发完成,并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法及装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法,包括:获取第一晶圆样本,并基于所述第一晶圆样本获取所述第一晶圆样本的晶圆参数信息以及故障信息,且所述故障信息包括:发生故障的设备信息,以及设备故障的实际等待时间;基于所述晶圆参数信息、所述设备信息与预先获取的参考数据确定设备故障的第一权重,其中,所述参考数据包括:相关数据和历史数据;基于所述第一权重和所述实际等待时间确定所述设备故障的等效等待时间。本发明相对应地还提供了一种评估装置。本发明所提供的评估方法及装置能够提高故障处理的等效效率。
本发明授权一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于风险评估的设备故障的处理顺序评估方法,其特征在于,包括:获取第一晶圆样本,并基于所述第一晶圆样本获取所述第一晶圆样本的晶圆参数信息以及故障信息,且所述故障信息包括:发生故障的设备信息,以及设备故障的实际等待时间;基于所述晶圆参数信息、所述设备信息与预先获取的参考数据确定设备故障的第一权重,其中,所述参考数据包括:相关数据和历史数据;基于所述第一权重和所述实际等待时间确定所述设备故障的等效等待时间,其中,所述等效等待时间用于表征所述设备故障的待处理的紧急程度;其中,确定所述第一权重的计算模型为: ;其中,为第一权重,R1,R2,R3,R4,R5,R6,R7为第二权重,N1为第一晶圆样本在第一站点扫描后的总缺陷数与第一站点在第一历史时段内的历史晶圆样本扫描缺陷数的平均值的偏移程度,N2为基于第一晶圆样本所扫描到的缺陷的标准值,N3为第一晶圆样本中的特殊元素的数量,N4为第一晶圆样本被用户预先定义的关键生产设备ID加工的次数,N5为第一晶圆样本的剩余等待时间,N6为第一晶圆样本的生产优先级,N7为第一站点在第一历史时段内发生过生产故障的次数。
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