恭喜ASMIP私人控股有限公司E.费尔姆获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASMIP私人控股有限公司申请的专利过渡金属氮化物沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115537770B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210728990.5，技术领域涉及：C23C16/34；该发明授权过渡金属氮化物沉积方法是由E.费尔姆;J.W.梅斯;C.德泽拉;岩下信哉设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本过渡金属氮化物沉积方法在说明书摘要公布了：本公开涉及在制造半导体器件领域中用于在衬底上沉积含过渡金属氮化物的材料的方法和设备。根据本公开的方法包括循环沉积过程，其中在反应室中提供衬底，以气相向反应室提供有机金属过渡金属前体，并且以气相向反应室中提供氮前体，以在衬底上形成过渡金属氮化物。本公开还涉及过渡金属氮化物层、半导体结构和器件以及用于在衬底上沉积过渡金属氮化物的沉积组件。
本发明授权过渡金属氮化物沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种通过循环沉积过程在衬底上沉积含过渡金属氮化物的材料的方法，该方法包括：在反应室中提供衬底；以气相向反应室提供有机金属过渡金属前体；以气相向反应室提供辅助反应物；以及以气相向反应室中提供氮前体，以在衬底上形成过渡金属氮化物；其中，过渡金属前体包括元素周期表的第4至6族中任何一族的过渡金属，其中所述辅助反应物包括选自溴和碘的卤素，且其中所述辅助反应物包括1,2-二卤代烷烃或1,2-二卤代烯烃或1,2-二卤代炔烃或1,2-二卤代芳烃。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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