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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利减压干燥装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118218221B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311768716.1，技术领域涉及：B05D3/04；该发明授权减压干燥装置是由安陪裕滋设计研发完成，并于2023-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本减压干燥装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种既避免降低生产效率，又防止因在冷却部的冷却面过度蓄积液态溶剂而导致的不良影响的减压干燥装置。一种减压干燥装置1，使涂敷于基板9的上表面的涂敷膜干燥，其中，具有：腔室10，容纳基板；支撑部20，在腔室内支撑基板；减压机构30，从腔室吸引气体，使腔室内的压力降低；以及冷却部40，对与支撑部所支撑的基板的上表面相对并大于基板9的冷却面40a进行冷却。冷却部40的冷却面40a具有：相对区域RC，在基板的厚度方向上与基板的能够形成涂敷膜90的区域AC相对；以及外侧区域RO，位于相对区域RC的外侧。冷却部40构成为外侧区域RC的温度高于相对区域的温度。

本发明授权减压干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具有：腔室，容纳所述基板；支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；减压机构，从所述腔室吸引气体，使所述腔室内的压力降低；以及冷却部，对与所述支撑部所支撑的所述基板的所述上表面相对并大于所述基板的冷却面进行冷却，所述冷却部的所述冷却面具有：相对区域，在所述基板的厚度方向上与所述基板的能够形成所述涂敷膜的区域相对；以及外侧区域，位于所述相对区域的外侧，所述冷却部构成为所述外侧区域的温度高于所述相对区域的温度，所述冷却部具有：路径，为冷却所述冷却面而供制冷剂流过；入口，向所述路径导入所述制冷剂；以及出口，从所述路径导出所述制冷剂，俯视时，所述冷却部的所述路径横跨所述相对区域和所述外侧区域，所述冷却部的所述入口位于所述相对区域，所述冷却部的所述出口位于所述外侧区域。

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