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龙图腾网恭喜上海集材微电子材料技术有限公司申请的专利一种光刻胶中元素的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118330012B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410234574.9，技术领域涉及：G01N27/626；该发明授权一种光刻胶中元素的检测方法是由邹阅超;刘慧芳;王轶滢设计研发完成，并于2024-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻胶中元素的检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种光刻胶中元素的检测方法，光刻胶样品被Piranha溶液氧化分解后获得混合溶液，将所述混合溶液加水稀释为样品溶液，检测所述样品溶液中元素的含量，并通过计算获得所述光刻胶样品中元素含量和空白对照溶液中元素的含量。本发明公开的新的光刻胶中元素检测方法，通过选用特定的Piranha溶液进行前处理将光刻胶氧化分解为无机物，由此可以直接采用水作为定容溶剂，没有额外引入含碳的溶剂，在ICP‑MS测试过程中不易出现锥口积碳、不需要配备专用的有机进样系统和半导体制冷模块、进样过程中不需要手动调节有机加氧量，可形成规范操作，测试结果的重复性较好、设备维护频率低成本低。

本发明授权一种光刻胶中元素的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶中元素的检测方法，其特征在于，光刻胶样品被Piranha溶液氧化分解后获得混合溶液，将所述混合溶液加水稀释为样品溶液，检测所述样品溶液中元素的含量和空白对照溶液中元素的含量，并通过计算获得所述光刻胶样品中元素含量；所述元素为锂、铍、钠、镁、铝、钾、钙、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、镓、锗、锶、锆、铌、钼、银、镉、铟、锡、锑、钡、钽、金、铊、铅、铋、硒、镍、钛、硼和砷；所述Piranha溶液为采用浓硫酸和双氧水制备，所述浓硫酸和所述双氧水的体积比为3～5：1；采用电感耦合等离子体质谱法检测所述样品溶液中元素的含量和空白对照溶液中元素的含量；采用所述电感耦合等离子体质谱法检测样品溶液中元素的含量包括如下具体步骤：标准溶液的配制：配制系列梯度浓度的标准溶液；定量检测：将所述样品溶液和所述标准溶液分别采用ICP-MS定量分析，并结合标准曲线法获得所述样品溶液中元素的含量；采用电感耦合等离子体质谱法检测空白对照溶液中元素的含量包括如下具体步骤：配置所述空白对照溶液，并通过ICP-MS检测所述空白对照溶液中元素的含量：所述空白对照溶液为所述Piranha溶液加水稀释获得，所述空白对照溶液中所述Piranha溶液的加水稀释倍数与制备所述样品溶液中对所述混合溶液的加水稀释倍数一致；电感耦合等离子体质谱法的检测条件包括如下特征中的一种或多种：等离子体功率为700～1000W；等离子体气流量为15～20Lmin；辅助气流量为1.0～1.5Lmin；雾化器温度为20～25℃；氧气流量：0.030～0.040Lmin；进样速度：80-120uLmin；所述标准溶液配制中选用的标准物质为CL51-293CRY1、CL51-311CRY1和CL51-304CRY1。

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