恭喜深圳市镭煜科技有限公司臧伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市镭煜科技有限公司申请的专利一种磁控镀膜用工作气管结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222729877U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420461155.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控镀膜用工作气管结构是由臧伟;罗能铁设计研发完成，并于2024-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控镀膜用工作气管结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控镀膜用工作气管结构，包括第一供气管路，第一供气管路的一端连接供气设备，第一供气管路上具有多个第一出气孔，且第一出气孔在第一供气管路的布设密度自靠近供气设备的一端向另一端逐渐增加；以及套设在第一供气管路外的第二供气管路，第二供气管路上具有多个第二出气孔，多个第二出气孔均匀设置在第二供气管路上。本实用新型的一种磁控镀膜用工作气管结构包括第一供气管路和套设在第一供气管路外的第二供气管路，其采用独特的双层结构和优化的出气孔，与供气设备连接的第一供气管路弯曲并不影响第二供气管路的出气，两者协同工作，确保了镀膜过程中靶材表面气压的稳定性和均匀性，从而保证基板各区域镀层厚度的一致性。
本实用新型一种磁控镀膜用工作气管结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控镀膜用工作气管结构，其特征在于，包括：第一供气管路，所述第一供气管路的一端连接供气设备，所述第一供气管路上具有多个第一出气孔，且所述第一出气孔在所述第一供气管路的布设密度自靠近所述供气设备的一端向另一端逐渐增加；以及套设在所述第一供气管路外的第二供气管路，所述第二供气管路上具有多个第二出气孔，多个所述第二出气孔均匀设置在所述第二供气管路上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市镭煜科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区兴亿辉工业园3号101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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