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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利工艺门驱动机构及热处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222734939U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420524606.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型工艺门驱动机构及热处理设备是由白海龙;李苗苗;李旭刚;赵佳彬设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺门驱动机构及热处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种工艺门驱动机构及热处理设备，工艺门驱动机构包括支撑臂、旋转臂、连接件及刚性止转部，连接件与支撑臂的一端通过第一转动副连接，旋转臂的一端与工艺门固定连接、另一端通过第二转动副与连接件连接；第一转动副和第二转动副中的一者为水平转动副、另一者为竖直转动副，第一转动副及第二转动副的转动轴线均垂直于工艺管的中轴线；刚性止转部与支撑臂及旋转臂可拆卸连接；在拆卸状态时，连接件可相对于支撑臂绕第一转动副的转动轴线旋转，旋转臂可相对于连接件绕第二转动副的转动轴线旋转。如此，将刚性止转部与支撑臂及旋转臂拆卸分离后，操作旋转臂绕水平转动副的转动轴线旋转，工艺门变为水平状态，这样可方便维护工艺门。

本实用新型工艺门驱动机构及热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺门驱动机构，应用于热处理设备，所述热处理设备包括工艺管和工艺门，所述工艺管沿水平方向延伸，所述工艺门用于开闭所述工艺管的开口，其特征在于，所述工艺门驱动机构包括：支撑臂；旋转臂，所述旋转臂的一端用于与所述工艺门固定连接；连接件，与所述支撑臂的一端通过第一转动副连接、以及与所述旋转臂的另一端通过第二转动副连接；所述第一转动副和所述第二转动副中的一者为水平转动副、另一者为竖直转动副，所述第一转动副及所述第二转动副的转动轴线的延伸方向均垂直于所述工艺管的长度方向；以及刚性止转部，与所述支撑臂及所述旋转臂可拆卸连接；所述刚性止转部具有连接状态和拆卸状态；在连接状态时，所述支撑臂与所述旋转臂固定连接；在拆卸状态时，所述连接件可相对于所述支撑臂绕所述第一转动副的转动轴线旋转，所述旋转臂可相对于所述连接件绕所述第二转动副的转动轴线旋转。

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