恭喜深圳市大族半导体装备科技有限公司刘航获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜深圳市大族半导体装备科技有限公司申请的专利载台机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222725760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420527532.X，技术领域涉及：B23K26/70；该实用新型载台机构是由刘航;童灿钊;巫礼杰;刘佳鑫设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本载台机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种载台机构，包括底板、加工载台、气体匀化块和盖板，气体匀化块设置于加工载台的侧方，气体匀化块上设有相互连通的进气孔和第一出气孔，进气孔用于通入保护气体，第一出气孔的出气方向朝向加工载台，盖板罩设于加工载台和气体匀化块外，且盖板与加工载台之间形成保护气体腔室，盖板上设有开口，以露出加工载台。在激光加工过程中，可通过气体匀化块上的第一出气孔朝加工载台吹出保护气体，再通过盖板阻挡保护气体以减少其散溢，使保护气体充满保护气体腔室。产品位于保护气体腔室内，被保护气体所包覆，可减少晶圆与空气的接触，避免因高温导致晶圆被氧化和损坏。
本实用新型载台机构在权利要求书中公布了：1.一种载台机构，其特征在于，包括：底板；加工载台，设置于所述底板上；气体匀化块，设置于所述加工载台的侧方，所述气体匀化块上设有相互连通的进气孔和第一出气孔，所述进气孔用于通入保护气体，所述第一出气孔的出气方向朝向所述加工载台；以及盖板，设置于所述底板上，并罩设于所述加工载台和所述气体匀化块外，所述盖板与所述加工载台之间形成保护气体腔室，所述盖板上设有开口，以露出所述加工载台。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市大族半导体装备科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万廷工业区第六栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号