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龙图腾网恭喜杭州众硅电子科技有限公司申请的专利联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119141436B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411666940.4，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法是由吴靖宇;徐枭宇设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法，包括：升降单元，具有第一、第二工作位，在单个动力源的驱动下可自第一工作位活动至第二工作位；阻挡件，部分可伸入或退出升降单元的活动路径；驱动件，可沿着升降单元的活动方向移动，并可与阻挡件相抵；转动限位件，至少具有第一状态和第二状态；在升降单元自第二工作位切换至第一工作位过程中，升降单元停留在第三工作位。本发明还公开了一种晶圆修整机构，联动式单动力源控制间停机构的工作方法，晶圆修整工作方法。本发明实现修整单元在目标高度停留对抛光垫表面沟槽进行检测的目的，在完成检测后可以自动解除上述间停动作。

本发明授权联动式单动力源控制间停机构、晶圆修整机构及工作方法在权利要求书中公布了：1.一种联动式单动力源控制间停机构，其特征在于：包括，升降单元（1），具有第一工作位和第二工作位，在单个动力源的驱动下可自第一工作位活动至第二工作位，该第一工作位和第二工作位限定升降单元（1）的活动路径；阻挡件（4），至少部分可伸入或退出升降单元（1）的活动路径；驱动件（2），可沿着升降单元（1）的活动方向移动，并可与阻挡件（4）相抵，以向上承托阻挡件（4）、并驱动阻挡件（4）朝着退出升降单元（1）活动路径的方向移动；转动限位件（5），至少具有第一状态和第二状态；在第一状态下，其与驱动件（2）动力源相抵，并限制所述阻挡件（4）向下运动；在第二状态下，其脱离驱动件（2），并解除对阻挡件（4）的运动限制；当转动限位件（5）位于第一状态时，所述阻挡件（4）的至少部分伸入升降单元（1）的活动路径；在升降单元（1）自第二工作位切换至第一工作位过程中，其可与阻挡件（4）相抵，并驱动阻挡件（4）下移，触发转动限位件（5）从第一状态切换至第二状态，所述驱动件（2）向上移动并与阻挡件（4）相抵，以使得驱动件（2）与升降单元（1）配合形成阻挡件（4）竖直方向受力平衡，所述升降单元（1）停留在第三工作位，该第三工作位位于第一工作位和第二工作位之间。

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