恭喜无锡量子感知技术有限公司史鑫尧获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡量子感知技术有限公司申请的专利一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113436953B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110689569.3,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯是由史鑫尧;戴晓鹏;赫松龄;贺羽;张伟设计研发完成,并于2021-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯在说明书摘要公布了:本发明提供了一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯,其可以精确测量扫描电镜入射电子束流强度,且其结构简单、操作方便。其包括:杯盖,其包括一厚度方向贯穿的入射孔;杯体,其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔;绝缘底托,其用于隔绝样品台和杯体;所述杯盖盖装于所述杯体的上表面,所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置;其还包括有一绝缘导线,所述绝缘导线的内层金属芯一端连接所述杯体,所述绝缘导线的内层金属芯的另一端用于连接高精度测电流装置;所述杯盖和杯体均为导体材质,所述绝缘底托为绝缘材料。
本发明授权一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯在权利要求书中公布了:1.一种测量扫描电镜电子束流的法拉第杯,其特征在于,其包括:杯盖,其包括一厚度方向贯穿的入射孔;杯体,其包括有一厚度方向内凹的内凹盲孔;绝缘底托,其用于隔绝样品台和杯体;所述杯盖盖装于所述杯体的上表面,所述入射孔朝向所述内凹盲孔设置;其还包括有一绝缘导线,所述绝缘导线的内层金属芯一端连接所述杯体,所述绝缘导线的内层金属芯的另一端用于连接高精度测电流装置;所述杯盖和杯体均为导体材质,所述绝缘底托为绝缘材料;所述杯盖为带有第一厚度的第一圆柱体,所述杯体为带有第二厚度的第二圆柱体,所述第二厚度大于第一厚度,所述第一圆柱体的直径等于第二圆柱体的直径;其还包括有一石墨柱体,所述石墨柱体插装于所述内凹盲孔内,所述石墨柱体的上表面为斜面,所述石墨柱体的上表面和杯体的上平面之间留有间距。
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