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龙图腾网恭喜北京中科信电子装备有限公司申请的专利一种离子注入载片装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111128665B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811309621.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种离子注入载片装置是由李晨冉设计研发完成，并于2018-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种离子注入载片装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种离子注入载片装置，包括：基座、旋转云台、载片基盘、滑动夹具等，所述基座能够为旋转云台和载片基盘提供支撑，能够提供载片基盘与注入轴线的角度变化，满足注入工艺对角度的要求；所述旋转云台能够提供绕载片基盘中心的角度变化及旋转运动；所述载片基盘能够装载硅片，并且载片基盘上设计有水冷，能够满足离子注入时冷却要求；所述滑动夹具能够实现指定规格的硅片夹持，能够实现载片装置运动过程中硅片夹持牢固且不损坏硅片。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。

本发明授权一种离子注入载片装置在权利要求书中公布了：1.一种离子注入载片装置，包括基座1、旋转云台2、载片基盘3、滑动夹具4，其特征在于：该离子注入载片装置实现硅片的单片稳定机械夹持，并且其载片基盘可绕中心轴旋转，基台上设计有水冷结构，能够满足试验冷却要求；该离子注入载片装置能够实现大角度离子注入，能够实现全自动装载；滑动夹具4的三个夹持爪通过滑杆嵌在载片基盘3上，其能够将顶轴的直线运动转化成垂直于顶轴的夹持运动；滑杆通过连接杆连接顶杆，连接杆一端与滑杆铰接，连接杆另一端与顶杆铰接，顶杆安装在旋转云台2的顶轴上，通过顶轴的直线运动，带动顶杆的运动，从而实现硅片的顶起与落下；滑杆、连接杆与顶杆组成连杆滑块机构，通过顶杆将顶轴的直线运动转化成滑杆的垂直于顶轴的直线运动，进而能够完成顶杆上升和下落过程中，夹持爪对硅片的释放和夹持动作；当夹持爪对硅片夹持时，顶杆与硅片之间具有间隙；当顶杆上升过程完成后，硅片所在高度位置高于载片基盘3所在高度位置。

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