恭喜西默有限公司A·多罗班图获国家专利权
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龙图腾网恭喜西默有限公司申请的专利用于气体放电台的本体的量测获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112703451B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980059291.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于气体放电台的本体的量测是由A·多罗班图;J·A·科亨;K·R·古文丹·拉朱;W·D·吉莱斯皮;E·S·格罗斯;R·C·乌亚德沃斯基设计研发完成，并于2019-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于气体放电台的本体的量测在说明书摘要公布了：一种光源装置包括气体放电台，其包括：三维本体，该三维本体限定空腔，该空腔被配置为与能量源交互，该本体包括至少两个端口，该至少两个端口可以透射波长在紫外线范围内的光束；传感器系统，其包括多个传感器，每个传感器被配置为测量气体放电台的本体的相应不同区域相对于该传感器的物理方面；以及控制装置，其与传感器系统通信。控制装置被配置为分析从传感器测量的物理方面，从而确定气体放电台的本体在X轴所限定的XYZ坐标系中的位置，其中X轴由气体放电台的几何形状限定。
本发明授权用于气体放电台的本体的量测在权利要求书中公布了：1.一种光源装置，包括：气体放电台，包括三维本体，所述三维本体限定了空腔，所述空腔被配置为与能量源交互，所述本体包括至少两个端口，所述至少两个端口能够透射波长在紫外线范围内的光束；传感器系统，包括多个传感器，每个传感器被配置为测量所述气体放电台的所述本体的相应不同区域相对于所述传感器的物理方面；以及控制装置，与所述传感器系统通信并且被配置为分析从所述传感器测量的所述物理方面，从而确定所述气体放电台的所述本体在由X轴所限定的XYZ坐标系中的位置，其中所述X轴由所述气体放电台的几何形状限定；其中每个传感器被配置为测量从所述传感器到所述气体放电台的所述本体的距离作为所述气体放电台的所述本体相对于所述传感器的所述物理方面。
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