恭喜梭莱先进镀膜工业公司W·德博斯谢尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜梭莱先进镀膜工业公司申请的专利带有用于监测和控制的控制器的磁控管获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112912990B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980068779.1，技术领域涉及：H01J37/34；该发明授权带有用于监测和控制的控制器的磁控管是由W·德博斯谢尔;I·范德普特;N·德维尔德设计研发完成，并于2019-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本带有用于监测和控制的控制器的磁控管在说明书摘要公布了：本文描述了一种用于溅射设备的磁控管结构。磁控管结构包括磁控管100，200，300，401和刚性地连接到磁控管100，200，300，401的控制器106，206，301，402。控制器106，206，301，402适于至少部分地控制溅射单元的状况和或功能。
本发明授权带有用于监测和控制的控制器的磁控管在权利要求书中公布了：1.一种用于溅射设备的磁控管结构，所述磁控管结构是端块并且包括磁控管100，200，300，401和刚性地连接到所述磁控管100，200，300，401的控制器106，206，301，402，所述磁控管用于可移除地支承靶管，所述磁控管结构不包括能够随所述靶管一起移除的零件，所述磁控管结构还包括用于感测与溅射设备或溅射过程相关的传感器信号的传感器207，所述控制器106，206，301，402被配置用于接收来自在所述磁控管结构中的所述传感器207的信号并且用于将所述信号处理成数据以监测或控制所述溅射设备或所述溅射设备的部件的状态或者溅射过程的状态。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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