恭喜泉州师范学院廖廷俤获国家专利权
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龙图腾网恭喜泉州师范学院申请的专利用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110849888B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911315115.9,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置及方法是由廖廷俤;颜少彬;陈武;陈文志设计研发完成,并于2019-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置,包括光学检测装置,光学检测装置的光路上设置有直角转像棱镜,直角转像棱镜在半导体晶粒底面侧的直角边侧下方依次设置有直角照明补偿棱镜、补偿照明光源。结构简单,从补偿照明光源上发出的光束经直角照明补偿棱镜入射到直角转像棱镜直角边上,该光束折射后入射在直角转像棱镜的斜面上不满足全反射条件,而是从该斜面上出射并透过透明玻璃载物台照明半导体晶粒的底面,实现对半导体晶粒底面的照明补偿。
本发明授权用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体晶粒双面缺陷同时检测的照明补偿装置,包括光学检测装置,光学检测装置的光路上设置有直角转像棱镜,其特征在于:直角转像棱镜在半导体晶粒底面侧的直角边侧下方依次设置有直角照明补偿棱镜、补偿照明光源;光学检测装置为基于转像透镜实现半导体晶粒天面与底面同时检测的装置,包括:用于承载待检半导体晶粒的透明玻璃载物台、设置在透明玻璃载物台第一侧的两个直角面相背设置的小直角转像棱镜,以及设置在透明玻璃载物台第二侧的照明光源、远心成像镜头和相机;两个小直角转像棱镜另一直角面朝向透明玻璃载物台且与透明玻璃载物台平行;在两个小直角转像棱镜相背直角面之间设有转像透镜,该转像透镜为凸透镜;两个小直角转像棱镜组成一个大的直角转像棱镜,半导体晶粒位于两个小直角转像棱镜的左侧小直角转像棱镜直角边的上方,直角照明补偿棱镜与补偿照明光源位于该大的直角转像棱镜的左下方。
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