恭喜上海新微技术研发中心有限公司李盈获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种三层晶圆键合的对准设备以及键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111211075B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010127277.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种三层晶圆键合的对准设备以及键合方法是由李盈设计研发完成，并于2020-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三层晶圆键合的对准设备以及键合方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种三层晶圆键合对准设备和利用所述对准设备进行三层晶圆键合的方法，所述对准设备包括本体以及设置在所述本体上的隔离片机构和固定机构，所述隔离片机构包括两层隔离片，所述两层隔离片之间具有间隙，多个隔离片机构可利用所述间隙的封闭端将晶圆夹紧。隔离片机构对位于双层隔离片之间的晶圆具有限位固定作用，其结构简单，操作方便，简化了键合步骤，使得所述对准设备可以一次完成三层晶圆的对准固定，在不增加过多成本的情况下，可以一次性直接完成三层晶圆的键合，提高了效率，降低了生产成本。
本发明授权一种三层晶圆键合的对准设备以及键合方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合对准设备，包括本体以及设置在所述本体上的多个隔离片机构和固定机构，其特征在于：所述隔离片机构包括线性驱动部件和设置在所述线性驱动部件上的双层隔离片部件，所述双层隔离片部件包括两层隔离片，所述两层隔离片之间具有间隙，所述多个隔离片机构可利用所述间隙的封闭端将晶圆夹紧；同一个所述隔离片机构中的两层隔离片由同一所述线性驱动部件驱动；所述线性驱动部件包括安装座、腰型孔座和杠杆一，所述双层隔离片部件固定设置在所述安装座上，所述安装座可线性滑动的设置在所述本体上，所述腰型孔座固定设置在所述安装座上，所述杠杆一通过支轴一可旋转的设置在所述本体上，所述杠杆一的阻力臂的自由端设置有转轴一，所述转轴一穿设在所述腰型孔座的腰型孔内。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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