买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜吴永胜申请的专利一种湿法处理用晶圆浸泡装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111883469B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010829542.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种湿法处理用晶圆浸泡装置是由吴永胜设计研发完成，并于2020-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种湿法处理用晶圆浸泡装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种湿法处理用晶圆浸泡装置，包括挡板、电动推杆和箱体，本发明通过设置了格挡密封机构于箱体后端，通过挤压板和微型弹簧对挡板施加压力，使得挡板对密封片施加压力而使得密封片更加稳定的贴合在箱体的后端面上，挡板在使用完毕后向上移动，当仍然有浸泡液流下时，通过限位板和延伸板将浸泡液导流至底板顶端面开设的透孔内侧，并且通过透孔进入到收集盒内进行收集，达到了提高整体的密封性防止浸泡液泄露，并且对流出的浸泡液进行收集而防止浸泡液浪费和污染环境的有益效果。

本发明授权一种湿法处理用晶圆浸泡装置在权利要求书中公布了：1.一种湿法处理用晶圆浸泡装置，包括挡板1、电动推杆2和箱体17，所述挡板1安装于第二气缸11底部输出轴上，所述电动推杆2锁固于底座12顶端面前端；其特征在于：还包括格挡密封机构9，所述格挡密封机构9设置于所述箱体17后端，所述格挡密封机构9包括底板91、延伸板92、限位板93、收集机构94和密封片95，所述底板91紧固于所述箱体17后端面中下部，且所述底板91左右两端设置有所述延伸板92，所述延伸板92和所述底板91后端顶部设置有所述限位板93，所述收集机构94设置于所述底板91底部，所述密封片95粘贴于所述挡板1前端面，且所述密封片95贴合于所述箱体17后端面；所述格挡密封机构9还包括固定板96、海绵片97、L型板98、挤压板99、橡胶片910和微型弹簧911；所述固定板96嵌入于所述箱体17后端面中上部，且所述固定板96后端面粘贴有所述海绵片97，所述L型板98对称安装有两个，所述L型板98安装于所述箱体17后端面中部，且两个所述L型板98左右对立面分别用于贴合于所述挡板1左右端面，所述挤压板99通过所述微型弹簧911连接于所述L型板98内侧后端面，且所述挤压板99前端面紧固有所述橡胶片910，所述橡胶片910用于紧贴于所述挡板1后端面；所述箱体17顶端面左侧和后端面中部分别开设有进液口8和窗口10，且所述箱体17内侧底端开设有浸泡槽14，所述第二气缸11通过L型刚件18锁固安装于所述箱体17后端顶部，所述浸泡槽14内侧前端嵌入有加热板15，且所述浸泡槽14顶部后端设置有进风管16，所述进风管16安装于所述箱体17内侧后端面中下部；所述密封片95为方状外形，且所述密封片95侧表面相齐平于所述挡板1侧表面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吴永胜，其通讯地址为：334000 江西省上饶市鄱阳县侯家岗乡侯岗集镇；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。