买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜无锡迪思微电子有限公司申请的专利腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114675496B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011555622.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置是由张宾设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置，该方法包括：将颗粒吸附结构送入真空腔体内；向颗粒吸附结构发射预定电荷，使得颗粒吸附结构带上预定电荷，预定电荷为正电荷和或负电荷；在颗粒吸附结构带上预定电荷预定时间段之后，将颗粒吸附结构送出真空腔体。通过使颗粒吸附结构带上预定电荷，利用静电吸附原理，来吸附真空腔体内的与预定电荷电性相反的颗粒，再将吸附了颗粒的颗粒吸附结构送出真空腔体，相比现有技术，该方法无需打开真空腔体放为大气做清洁，节省了人力成本，并且避免了清洁耗时较长、效率低下的问题，保证了较高效率地对真空腔体的进行清洁。

本发明授权腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种腔体的净化方法，其特征在于，包括：将颗粒吸附结构送入真空腔体内；向所述颗粒吸附结构发射预定电荷，使得所述颗粒吸附结构带上所述预定电荷，所述预定电荷为负电荷；在所述颗粒吸附结构带上所述预定电荷预定时间段之后，将所述颗粒吸附结构送出所述真空腔体，所述颗粒吸附结构包括颗粒吸附层，所述颗粒吸附结构还包括载体，所述颗粒吸附层位于所述载体的表面上，所述颗粒吸附层包括金属层，所述金属层包括多个间隔设置的金属部，使得向所述颗粒吸附结构发射所述预定电荷时，多个所述金属部带上预定电荷，所述真空腔体为电子束曝光机台的真空腔体，向所述颗粒吸附结构发射所述预定电荷，使得所述颗粒吸附结构带上所述预定电荷，包括：控制所述电子束曝光机台的电子发射源发射电子束所述预定时间段，使得所述颗粒吸附结构带上负电荷。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡迪思微电子有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。