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龙图腾网恭喜上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利光刻机同步故障检测方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114690578B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011628812.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机同步故障检测方法和系统是由于婷;陈丹;朱晶设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机同步故障检测方法和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻机同步故障检测方法和系统，一种光刻机同步故障检测方法应用于扫描光刻机，扫描光刻机包括多个分系统，多个分系统包括干涉仪分系统、伺服运动控制分系统、曝光分系统、对准分系统和像质分系统，该方法包括：检测上位机从各分系统中采集同步诊断参数，同步诊断参数包括至少一种用于表征同步状态的参数；检测上位机根据同步诊断参数确定扫描光刻机中各分系统的同步状态；检测上位机通过人机交互界面显示扫描光刻机中各分系统的同步状态。本发明实施例公开的光刻机同步故障检测方法和系统，能够提高对扫描光刻机进行同步故障检测的效率。

本发明授权光刻机同步故障检测方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机同步故障检测方法，其特征在于，应用于扫描光刻机，所述扫描光刻机包括多个分系统，所述多个分系统包括干涉仪分系统、伺服运动控制分系统、曝光分系统、对准分系统和像质分系统，所述方法包括：检测上位机从各分系统中采集同步诊断参数，所述同步诊断参数包括至少一种用于表征同步状态的参数；所述检测上位机根据所述同步诊断参数确定所述扫描光刻机中各分系统的同步状态；所述检测上位机通过人机交互界面显示所述扫描光刻机中各分系统的同步状态；所述检测上位机从各分系统中采集同步诊断参数之前，还包括：在每个伺服周期内，所述伺服运动控制分系统中的控制模块向所述伺服运动控制分系统中的运动同步时序控制板卡发送同步扫描指令；所述运动同步时序控制板卡向所述伺服运动控制分系统中的工件台运动控制器和所述干涉仪分系统中的同步总线控制板卡发送同步状态信息；所述干涉仪分系统中的同步总线控制板卡向所述干涉仪分系统中的干涉仪运动控制器、所述曝光分系统中的剂量时序控制卡、所述对准分系统中的对准时序控制卡、所述像质分系统中的像质时序控制卡发送所述同步状态信息，并接收所述剂量时序控制卡、所述对准时序控制卡和所述像质时序控制卡发送的同步故障诊断参数；其中，所述剂量时序控制卡、所述对准时序控制卡和所述像质时序控制卡在接收到所述同步状态信息后，确定各自分系统内的同步状态，并生成同步故障诊断参数；所述剂量时序控制卡检测所述曝光分系统中的激光器的同步输出信号和扫描触发信号是否对齐，若未对齐则向所述检测上位机发送曝光时序故障消息。

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