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龙图腾网恭喜上海晶盟硅材料有限公司申请的专利超重掺红磷衬底的外延制造方法以及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497814B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211159722.2，技术领域涉及：H01L21/20；该发明授权超重掺红磷衬底的外延制造方法以及装置是由顾广安;吴勇;陈建纲;朱小波设计研发完成，并于2022-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本超重掺红磷衬底的外延制造方法以及装置在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种超重掺红磷衬底的外延制造方法以及装置，涉及芯片制造技术领域，所述方法包括：获取超重掺红磷衬底，以及获取多个预设本征参数和多个预设刻蚀参数；依次基于每个预设本征参数对所述超重掺红磷衬底执行本征处理，获得对应的多个处理后衬底；对每个处理后衬底执行外延生长操作，获得多个外延生长后衬底；在每个外延生长后衬底的外延沉积之前，依次基于每个预设刻蚀参数对每个外延生长后衬底执行刻蚀操作，获得对应的多个刻蚀后衬底；获取自掺杂性能评估参数，基于所述自掺杂性能评估参数对每个刻蚀后衬底进行评估，确定最佳衬底；基于所述最佳衬底对应的本征参数和刻蚀参数生成针对所述超重掺红磷衬底的外延制造方法。

本发明授权超重掺红磷衬底的外延制造方法以及装置在权利要求书中公布了：1.一种超重掺红磷衬底的外延制造方法，其特征在于，所述方法包括：获取超重掺红磷衬底，以及获取多个预设本征参数和多个预设刻蚀参数；依次基于每个预设本征参数对所述超重掺红磷衬底执行本征处理，本征处理是沉积本征层，获得对应的多个处理后衬底；对每个处理后衬底执行外延生长操作，获得多个外延生长后衬底；在每个外延生长后衬底的外延沉积之前，依次基于每个预设刻蚀参数对每个外延生长后衬底执行刻蚀操作，获得对应的多个刻蚀后衬底；获取自掺杂性能评估参数，基于所述自掺杂性能评估参数对每个刻蚀后衬底进行评估，确定最佳衬底；基于所述最佳衬底对应的本征参数和刻蚀参数生成针对所述超重掺红磷衬底的外延制造方法；所述获取多个预设本征参数，包括：获取本征材料特性以及针对所述超重掺红磷衬底的本征工艺范围；基于所述本征材料特性从所述本征工艺范围内确定多个本征铺设数值；基于所述多个本征铺设数值生成对应的多个预设本征参数；所述获取多个预设刻蚀参数，包括：获取刻蚀材料特性以及针对所述超重掺红磷衬底的刻蚀工艺范围；基于所述刻蚀材料特性和所述超重掺红磷衬底的物理性能从所述刻蚀工艺范围内确定多个刻蚀数值；基于所述多个刻蚀数值生成对应的多个预设刻蚀参数。

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