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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119002193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411430565.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法是由申英男;彭杰峰;付新;胡亮;刘伟庭;苏芮设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法。温度波动衰减器包括主壳体和多个多孔板，主壳体内部为空心，形成空腔结构，每个多孔板为布有小孔的圆板，多个多孔板沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；优化制造方法包括获取空腔结构的体积V、多孔板的直径D、超洁净流体的密度ρ、流体的流速v和时滞时间τ，然后构建温度波动衰减器的时滞模型Gs，最终针对时滞模型Gs进行优化求解，求解出多孔板的数量N，多孔板上的小孔数量n，多孔板上的小孔孔径d，进而制造得到优化后的温度波动衰减器。本发明提高了衰减器在高频温度扰动下的衰减性能，有利于提高光刻机的温度控制精度。

本发明授权一种基于级联系统的温度波动衰减器及优化制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基于级联系统的温度波动衰减器，其特征在于：包括主壳体和多个多孔板（4）；所述主壳体内部为空心，形成空腔结构，空腔结构沿流体的流通方向的两端设置有出入口；每个所述多孔板（4）为布有小孔（8）的圆板，多个多孔板（4）沿流体的流通方向平行间隔布置，每个多孔板（4）垂直于流体的流通方向，用于对流体进行挡流和波动衰减；所述空腔结构分为位于中心的中间腔（2）和位于中间腔（2）周围的环形腔，环形腔和中间腔（2）之间被环形隔板隔开，环形腔内再设置有至少一个环形隔板使得自身分隔为多个从内到外同心布置的环形子腔；每个环形隔板在靠近入口或者出口的一端开设有通口（7），使得环形隔板所在相邻的两个腔之间通过通口（7）连通，每相邻两个环形隔板所开设的通口（7）所靠近的口不同，且最内侧的环形隔板在靠近出口的一端开设通口（7）；最外侧环形子腔的外侧壁一处开设通口（7），通口（7）和集流器连通，且最外侧环形腔外侧壁开设的通口（7）和最外侧环形腔内侧对应环形隔板开设的通口（7）所靠近的口不同。

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