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龙图腾网恭喜厦门特仪科技有限公司申请的专利一种晶圆固定工装及使用其的晶圆检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119275163B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411733920.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆固定工装及使用其的晶圆检测设备是由范智昆;连真;王世锐设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆固定工装及使用其的晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆固定工装及使用其的晶圆检测设备，所述晶圆固定工装包括：工件吸盘，工件吸盘的上表面通过衔接套筒连接到旋转马达的输出轴上；防掉片机构，包含可升降安装于倒T形安装座上的T形移动座，T形移动座的上表面固接有驱动座板，驱动座板靠近倒T形安装座的一侧向下翻折设置、并固接有一组对接板，对接板上通过导轨安装板可移动安装有丝杆座，丝杆座分别向外固接有夹紧驱动板，夹紧驱动板的端部向下固接有防掉片夹紧板；驱动座板上通过双轴电机固接有一组旋向相反的驱动丝杆，驱动丝杆贯穿延伸至让位孔的外侧。本发明在低空间占用的前提下实现防掉片机构的设置，有效确保对晶圆工件的面朝下吸附固定的稳固性。

本发明授权一种晶圆固定工装及使用其的晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆固定工装，其特征在于，包括：工件吸盘（1），所述工件吸盘（1）的下表面设置有相应的吸附孔（101），所述吸附孔（101）通过相应的抽真空接头（2）连接到外部抽真空泵，所述工件吸盘（1）的上表面通过相应的衔接套筒（3）连接到相应的旋转马达（4）的输出轴上，所述衔接套筒（3）的两侧分别设置有相应的连通孔（301）；防掉片机构（5），包含固接于所述衔接套筒（3）内侧的工件吸盘（1）上的倒T形安装座（501），所述倒T形安装座（501）的一侧可升降安装有相应的T形移动座（502），所述T形移动座（502）的上表面固接有相应的驱动座板（503），所述驱动座板（503）靠近倒T形安装座（501）的一侧向下翻折设置、并固接有一组中部设置有让位孔（6）的对接板（504），所述对接板（504）未连接于所述驱动座板（503）的一侧固接有一相应的导轨安装板（505），所述导轨安装板（505）的两侧分别可移动安装有相应的丝杆座（506），所述丝杆座（506）分别向外固接有相应的夹紧驱动板（507），所述夹紧驱动板（507）的端部分别延伸至所述工件吸盘（1）的外侧、并向下固接有相应的防掉片夹紧板（508）；一组所述对接板（504）之间的驱动座板（503）上固定安装有一相应的双轴电机（509），所述双轴电机（509）的输出轴端固接有一组旋向相反的驱动丝杆（5010），所述驱动丝杆（5010）贯穿延伸至所述让位孔（6）的外侧，所述丝杆座（506）分别传动连接到对应的驱动丝杆（5010）上；所述倒T形安装座（501）背离所述双轴电机（509）的一端固接有一用于驱动所述T形移动座（502）的电动缸（5011）。

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