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恭喜北京晨晶电子有限公司吴黎明获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京晨晶电子有限公司申请的专利一种压力传感器敏感结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119290210B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411808061.0,技术领域涉及:G01L1/10;该发明授权一种压力传感器敏感结构是由吴黎明;廖兴才;韩雪飞;张梦婷;王春赟;田珂珂;刘慧芳;仵思笛;张兆琦设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种压力传感器敏感结构在说明书摘要公布了:本申请涉及力测量技术领域,提供一种压力传感器敏感结构,包括感压层、振梁层、应力隔离层和基底层,感压层包括感压膜;振梁层包括振梁基体和振梁结构,振梁基体连接于感压膜,振梁结构连接于振梁基体;应力隔离层包括应力隔离环结构,应力隔离环结构连接于振梁基体背离感压膜的一侧,应力隔离环结构内部中空形成通孔,振梁基体盖合于通孔第一端;基底层包括石英基底片,石英基底片连接于应力隔离层,石英基底片盖合于通孔第二端。通过在基底层和振梁层之间设置应力隔离环结构可以隔离外部应力对振梁层的影响,保护振梁结构的稳定性和精度,能有效削弱来自封装的装配应力、热应力和振动冲击应力,提高整表零偏的稳定性。

本发明授权一种压力传感器敏感结构在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器敏感结构,其特征在于,包括:感压层(100),包括感压膜(110);振梁层(200),包括振梁基体(210)和振梁结构(220),所述振梁基体(210)连接于所述感压膜(110),所述振梁结构(220)连接于所述振梁基体(210);所述振梁结构(220)包括测压振梁(221)、基准振梁(222)和匹配振梁(223),所述基准振梁(222)的锚区(226)固定连接于所述振梁基体(210);所述基准振梁(222)的第一激振电极(224)通过在振梁基体(210)上走线引出;所述匹配振梁(223)和所述基准振梁(222)关于所述测压振梁(221)对称设于所述振梁基体(210),所述匹配振梁(223)的锚区(226)固定连接于所述振梁基体(210);应力隔离层(300),包括应力隔离环结构(310),所述应力隔离环结构(310)连接于所述振梁基体(210)背离所述感压膜(110)的一侧,所述应力隔离环结构(310)内部中空形成通孔(311),所述振梁基体(210)盖合于所述通孔(311)第一端;基底层(400),包括石英基底片(410),所述石英基底片(410)连接于所述应力隔离层(300),所述石英基底片(410)盖合于所述通孔(311)第二端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京晨晶电子有限公司,其通讯地址为:100015 北京市朝阳区酒仙桥路6号院9号楼1至14层101内6层601室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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