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龙图腾网恭喜潍坊星泰克微电子材料有限公司申请的专利一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119335816B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411874863.1，技术领域涉及：G03F7/039；该发明授权一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺及其制备方法是由孙逊运;刘聘;刘增花;段存英;于强;王玉成设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺及其制备方法，涉及光刻胶技术领域，正性光敏聚酰亚胺的原料组成按质量百分比为，聚酰亚胺树脂10～40%，光致产酸剂1～15%，有机溶剂55～70%。本发明的聚酰亚胺树脂具有高透过性，在i‑line的透过率高，制得的正性光敏聚酰亚胺极大的降低了曝光能量，提高了留膜率，生产成本低。

本发明授权一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺，其特征在于，所述正性光敏聚酰亚胺的原料组成按质量百分比为：聚酰亚胺树脂10～40%光致产酸剂1～15%有机溶剂55～70%；所述低温固化的化学增幅型正性光敏聚酰亚胺的制备方法，包括以下步骤：S1、聚酰亚胺树脂的制备在反应釜中加入二胺和极性溶剂，在氮气氛围下搅拌溶解，之后加入二酸酐，室温反应2-4h，后加入二甲苯，混合均匀后升温至170-190℃继续反应2-4h，然后冷却至室温后加入二碳酸二叔丁酯，室温反应6-8h，将反应液冷却后倒入去离子水中，得到白色沉淀，将白色沉淀洗涤3～5次后，在50℃下真空干燥40-50h,得到高透性的聚酰亚胺树脂，所述聚酰亚胺树脂的分子量在1000～100000之间；S2、正性光敏聚酰亚胺的制备取上述聚酰亚胺树脂、光致产酸剂、有机溶剂混合均匀，用0.45μm的滤膜过滤，即得正性光敏聚酰亚胺溶液；采用旋涂的方式在干燥的硅晶圆上涂覆软考后14μm的上述光敏聚酰亚胺溶液，采用i-line曝光,之后在110～130℃的热板上烘烤80～100s,烘烤后的片子用2.38%TMAH显影90～100s，并用去离子水冲洗干净，即得到图形化的聚酰亚胺；将完成光刻工艺的硅晶圆放入无氧烘箱中，200℃处理0.5～1.5h，使光敏聚酰亚胺完全固化，得正性光敏聚酰亚胺；所述二酸酐为9,9-双三氟甲基-2,3,6,7-氧杂蒽四羧基二酐、六氟二酐、氢化均苯四甲酸二酐、环丁烷四甲酸二酐中的一种或两种；所述二胺为2,2-双3-氨基-4-羟基苯基六氟丙烷、2,2'-二三氟甲基-1,1'-二苯基-4,4'-二胺、9,9-双3-氟-4-氨基苯基芴、2,2-双[4-4-氨基苯氧基苯基]六氟丙烷、N,N'-2,2'-双三氟甲基-[1,1'-二联苯基]-4,4'-二基双4-氨基苯甲酰胺、1,4-双4-氨基-2-三氟甲基苯氧基苯、2,2-双4-羟基-3-氨基苯基丙烷、2,2-双4-氨基苯基六氟丙烷中的一种或两种。

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