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龙图腾网恭喜深圳市湃泊科技有限公司;东莞市湃泊科技有限公司申请的专利用于制造热沉的种子层双面溅射装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119351963B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411932265.5，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权用于制造热沉的种子层双面溅射装置是由安屹;陈琦;秦太梦;陈维设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于制造热沉的种子层双面溅射装置在说明书摘要公布了：本申请公开了用于制造热沉的种子层双面溅射装置，包括夹片装置；每个夹片装置至少包括：载膜板、托片掩膜和锁定杆；载膜板上具有若干载膜通槽，载膜通槽一侧开口延伸至载膜板侧壁；位于载膜通槽开口两侧的底缘设有载膜阶以承托托片掩膜；托片掩膜设于载膜通槽内；托片掩膜的相对两侧边具有与载膜阶配合的外接沿；托片掩膜上设有覆膜孔，用于容纳衬底，且覆膜孔的底部设有承托衬底的掩膜栅板；每两个托片掩膜相互扣合以夹持并罩覆衬底；每两个载膜板相互扣合以约束两个托片掩膜保持扣合状态；相互扣合的载膜板通过转轴铰接，转轴位于载膜板远离载膜通槽开口的一侧，锁定杆位于载膜板远离转轴的一侧；以完成夹持衬底并完成种子层双面溅射成型。

本发明授权用于制造热沉的种子层双面溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种用于制造热沉的种子层双面溅射装置，其特征在于，包括：夹片装置；每个所述夹片装置至少包括：载膜板、托片掩膜和锁定杆；所述载膜板上具有若干载膜通槽，所述载膜通槽一侧开口延伸至所述载膜板侧壁；位于所述载膜通槽开口两侧的底缘设有载膜阶，用于承托所述托片掩膜；所述托片掩膜设于所述载膜通槽内；所述托片掩膜的相对两侧边具有与所述载膜阶配合的外接沿；所述托片掩膜上设有覆膜孔，用于容纳衬底，且所述覆膜孔的底部设有用于承托所述衬底的掩膜栅板；所述夹片装置中：每两个所述托片掩膜相互扣合，用于夹持并罩覆所述衬底；每两个所述载膜板相互扣合，用于约束两个所述托片掩膜保持扣合状态；其中，相互扣合的所述载膜板通过转轴铰接，所述转轴位于所述载膜板远离所述载膜通槽开口的一侧，所述锁定杆位于所述载膜板远离所述转轴的一侧以使得相互扣合的所述载膜板保持扣合；所述锁定杆侧壁设有夹槽，所述夹槽用于夹持相互扣合的所述载膜板远离所述转轴的一侧；其中，所述载膜板表面与所述夹槽配合处设有若干导向槽，所述导向槽延长方向与所述转轴的轴线方向夹角为锐角；所述夹槽的相对两侧壁上设有与所述导向槽相配合的导向突起；还包括镀膜舱；所述镀膜舱内底板中心设有升降孔，所述升降孔中设有升降滑套；所述升降滑套顶部设有用于固定所述夹片装置的固定框；所述镀膜舱的舱体上嵌入设有观察舱，所述观察舱内设有用于监视所述镀膜舱内溅射情况的监视相机；所述镀膜舱下方设有与所述升降滑套连接的升降机构、转向机构以分别驱动所述升降滑套沿自身中心轴线往复、旋转运动。

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