恭喜江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司梁德富获国家专利权
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龙图腾网恭喜江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司申请的专利一种旋转密封机构及半导体沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400680B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510006407.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种旋转密封机构及半导体沉积设备是由梁德富;林佳继设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转密封机构及半导体沉积设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种旋转密封机构及半导体沉积设备，属于半导体技术领域。旋转密封机构应用于半导体沉积设备，旋转密封机构用于密封竖向设置的旋转轴，旋转轴用于支撑并通过自身旋转以调整晶圆，旋转密封机构包括支撑组件和密封件，旋转轴穿设于支撑组件和密封件，旋转轴的外周设有与旋转轴相间隔的压接部；密封件夹紧于压接部和支撑组件之间，使密封件密封连接于旋转轴的外周，旋转轴能够绕自身的轴线并相对于密封件转动，保证旋转轴和旋转密封机构之间的密封性。
本发明授权一种旋转密封机构及半导体沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种旋转密封机构，应用于半导体沉积设备，其特征在于，所述旋转密封机构用于密封竖向设置的旋转轴21，所述旋转轴21用于支撑并通过自身旋转以调整晶圆200，所述旋转密封机构包括支撑组件31和密封件32，所述旋转轴21穿设于所述支撑组件31和所述密封件32，所述旋转轴21的外周设有与所述旋转轴21相间隔的压接部212；所述密封件32夹紧于所述压接部212和所述支撑组件31之间，使所述密封件32密封连接于所述旋转轴21的外周，所述旋转轴21能够绕自身的轴线并相对于所述密封件32转动；所述密封件32包括截面呈夹角设置的密封部321和延伸部322，所述密封部321套设于所述旋转轴21，且与所述旋转轴21呈夹角设置，所述延伸部322夹紧于所述压接部212和所述支撑组件31之间，所述密封部321位于所述压接部212和所述旋转轴21之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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