恭喜极光先进雷射株式会社石田启介获国家专利权
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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利激光装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114207959B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980099083.5,技术领域涉及:H01S3/097;该发明授权激光装置和电子器件的制造方法是由石田启介设计研发完成,并于2019-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:激光装置具有:激光谐振器;腔,其被配置于激光谐振器的光路上;一对电极,它们被配置于腔;电源,其对电极施加电压;存储部,其存储有使脉冲激光的脉冲能量成为规定的值的电压值;以及控制部,其设定被施加给电极的电压的施加电压值,控制部根据电压指令值和存储部中存储的电压值,设定用于输出在多次突发振荡中的1次突发振荡中输出的脉冲激光中包含的多个脉冲中的表示脉冲的顺序的脉冲编号为1以上且小于i的脉冲的施加电压值,并根据电压指令值和相对于电压指令值的偏置值,设定用于输出脉冲编号为i以上且小于j的脉冲的施加电压值,其中,i为大于1的整数,设j为大于i的整数。
本发明授权激光装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种激光装置,其按照从外部装置输入的电压指令值和触发信号,进行包含第1突发振荡和在所述第1突发振荡之后进行的第2突发振荡在内的多次突发振荡而输出脉冲激光,其中,所述激光装置具有:激光谐振器;腔,其被配置于所述激光谐振器的光路上;一对电极,它们被配置于所述腔;电源,其对所述电极施加电压;存储部,其存储有使所述脉冲激光的脉冲能量成为规定的值的电压值;以及控制部,其设定被施加给所述电极的电压的施加电压值,所述控制部根据所述电压指令值和所述存储部中存储的电压值,设定用于输出在所述多次突发振荡中的1次突发振荡中输出的所述脉冲激光中包含的多个脉冲中的表示脉冲的顺序的脉冲编号为1以上且小于i的脉冲的所述施加电压值,并根据所述电压指令值和相对于所述电压指令值的偏置值,设定用于输出所述脉冲编号为i以上且小于j的脉冲的所述施加电压值,其中,i为大于1的整数,j为大于i的整数,所述电压指令值是施加给所述电极的电压的指令值,所述存储部存储有数据表,所述数据表将使所述脉冲激光的脉冲能量成为所述规定的值的电压值与从所述第1突发振荡结束时到所述第2突发振荡开始时为止的休止期间的长度和所述脉冲编号的组合对应起来,所述控制部根据基于所述休止期间的长度和所述脉冲编号而从所述数据表读出的所述电压值,设定用于输出所述脉冲编号为1以上且小于i的脉冲的所述施加电压值,所述控制部根据用于输出所述脉冲编号为i-1的脉冲的所述电压指令值与用于输出所述脉冲编号为i-1的脉冲的所述施加电压值之差,计算所述偏置值。
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