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恭喜极光先进雷射株式会社对马弘朗获国家专利权

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龙图腾网恭喜极光先进雷射株式会社申请的专利激光装置和激光装置的泄漏检查方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114287088B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980099848.5,技术领域涉及:H01S3/036;该发明授权激光装置和激光装置的泄漏检查方法是由对马弘朗;川越阳介;田中诚设计研发完成,并于2019-10-04向国家知识产权局提交的专利申请。

激光装置和激光装置的泄漏检查方法在说明书摘要公布了:激光装置的泄漏检查方法包含以下步骤:使收纳激光介质气体的封闭空间暴露于大气;在使封闭空间暴露于大气后,使封闭空间与大气隔绝;向封闭空间导入包含氖气的含氖气体;以及判定氖气是否泄漏到封闭空间的外部。

本发明授权激光装置和激光装置的泄漏检查方法在权利要求书中公布了:1.一种激光装置的泄漏检查方法,其中,所述激光装置包含:激光腔;第1配管,其与收纳有第1气体的第1气体供给源连接,向所述激光腔导入所述第1气体,所述第1气体包含氖气和氟气;以及第2配管,其与收纳有第2气体的第2气体供给源连接,向所述激光腔导入所述第2气体,所述第2气体包含氖气且氟气浓度比所述第1气体低,所述泄漏检查方法包含以下步骤:使包含所述激光腔的内部的空间在内并收纳激光介质气体的封闭空间暴露于大气;在使所述封闭空间暴露于大气后,使所述封闭空间与大气隔绝;从所述第2气体供给源向所述封闭空间导入与所述第2气体相同组成的第3气体;以及判定氖气是否泄漏到所述封闭空间的外部。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人极光先进雷射株式会社,其通讯地址为:日本栃木县;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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