恭喜三菱电机株式会社山本达也获国家专利权
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龙图腾网恭喜三菱电机株式会社申请的专利气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114667651B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980102111.4，技术领域涉及：H01S3/134；该发明授权气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置是由山本达也;西前顺一;田所让;成濑正史;川岛拓也设计研发完成，并于2019-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置在说明书摘要公布了：气体激光放大器10A具有框体11、放电电极对20A、20B和光谐振器40。框体11具有：入射窗口12，其从外部被射入第1激光；以及出射窗口13，其将放大的第1激光射出。放电电极对20A、20B使供给至在框体11的内部相对而配置的放电电极21A、22A、21B、22B之间的激光气体发生激励。光谐振器40在第1激光没有从框体11的外部从入射窗口12射入至框体11的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口12射入至框体11的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。
本发明授权气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种气体激光放大器，其特征在于，具有：框体，其具有从外部被射入第1激光的入射窗口、及将放大的所述第1激光射出的出射窗口；放电电极对，其使供给至在所述框体的内部相对而配置的放电电极之间的激光气体发生激励；以及光谐振器，其在所述第1激光没有从所述框体的外部从所述入射窗口射入至所述框体的内部的非入射状态时，通过被激励的所述激光气体的增益使第2激光振荡，在所述第1激光从所述入射窗口射入至所述框体的内部的入射状态时，使所述第2激光的振荡停止。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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