恭喜应用材料公司V·S·C·帕里米获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利用于改进的热传递和温度均匀性的加热的基座设计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111463146B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911327919.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于改进的热传递和温度均匀性的加热的基座设计是由V·S·C·帕里米;Z·黄;J·李;S·拉达克里什南;程睿;D·N·凯德拉亚;J·C·罗查;U·M·科尔卡;K·杰纳基拉曼;S·M·博贝克;P·K·库尔施拉希萨;V·K·普拉巴卡尔;B·S·权设计研发完成，并于2019-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于改进的热传递和温度均匀性的加热的基座设计在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式总体上涉及一种基座，所述基座用于增加支撑在其上的基板中的温度均匀性。所述基座包括主体，所述主体中嵌入有加热器。所述主体包括图案化的表面，所述图案化的表面包括第一区域和围绕所述中心区域的第二区域，所述第一区域具有在第一高度从所述主体的基底表面延伸的第一多个柱，所述第二区域具有在大于第一高度的第二高度从基底表面延伸的第二多个柱，其中所述第一多个柱和所述第二多个柱中的每一者的上表面基本上共面并且限定基板接收表面。
本发明授权用于改进的热传递和温度均匀性的加热的基座设计在权利要求书中公布了：1.一种基座，所述基座包括：主体，所述主体具有设置在所述主体中的加热器，其中所述主体包括：图案化的表面，所述图案化的表面包括：第一区域，所述第一区域具有以第一高度从所述主体的基底表面延伸的第一多个柱；以及第二区域，所述第二区域围绕所述第一区域，所述第二区域具有以大于所述第一高度的第二高度从所述基底表面延伸的第二多个柱，其中所述第一多个柱和所述第二多个柱中的每一者的上表面以螺旋形图案布置、为共面的并且限定基板接收表面，当在所述基底表面和支撑在所述图案化的表面之上的基板之间施加气体时所述螺旋形图案防止直线流动路径，并且其中所述图案化的表面包括一个或多个裸位置，所述一个或多个裸位置设置在所述第一多个柱和所述第二多个柱之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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