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龙图腾网恭喜应用材料公司;加利福尼亚大学董事会申请的专利利用脉冲式化学气相沉积的金属氧化物的选择性沉积获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115698371B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180027095.4，技术领域涉及：C23C16/04；该发明授权利用脉冲式化学气相沉积的金属氧化物的选择性沉积是由基思·塔特森·王;斯里尼瓦斯·D·内曼尼;安德鲁·C·库梅尔;尤尼尔·曺;詹姆斯·黄设计研发完成，并于2021-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用脉冲式化学气相沉积的金属氧化物的选择性沉积在说明书摘要公布了：本文描述与论述的实施方式提供用于在基板上选择性沉积金属氧化物的方法。在一个或多个实施方式中，用于形成金属氧化物材料的方法包括：将基板定位在处理腔室内，其中基板具有钝化与未钝化表面，将基板暴露于第一金属醇盐前驱物以将第一金属氧化物层选择性沉积在未钝化表面之上或上面，以及将基板暴露于第二金属醇盐前驱物以将第二金属氧化物层选择性沉积在第一金属氧化物层上。该方法也包括依序地重复将基板暴露于第一与第二金属醇盐前驱物以产生含有第一与第二金属氧化物层的交替层的积层膜。第一与第二金属醇盐前驱物各自含有选自钛、锆、铪、铝或镧的不同种类的金属。

本发明授权利用脉冲式化学气相沉积的金属氧化物的选择性沉积在权利要求书中公布了：1.一种形成金属氧化物材料的方法，包括以下步骤：将基板定位在处理腔室内，其中所述基板包括钝化表面与未钝化表面，以及其中所述未钝化表面以氢化物基团、氢氧化物基团、或前述物的组合封端；将所述基板暴露于第一金属醇盐前驱物以在所述未钝化表面之上或上面产生第一金属氧化物层，而所述钝化表面维持至少实质上无所述第一金属氧化物层，其中所述第一金属醇盐前驱物被热分解以产生所述第一金属氧化物层；将所述基板暴露于第二金属醇盐前驱物以在所述第一金属氧化层上产生第二金属氧化物层，而所述钝化表面维持至少实质上无所述第二金属氧化物层，其中所述第二金属醇盐前驱物被热分解以产生所述第二金属氧化物层；以及依序地重复将所述基板暴露于所述第一金属醇盐前驱物与所述第二金属醇盐前驱物以产生包括所述第一金属氧化物层与所述第二金属氧化物层的交替层的积层膜，其中所述第一金属醇盐前驱物与所述第二金属醇盐前驱物独立地包括一种金属，所述金属选自由钛、锆、铪、铝与镧所组成的群组，以及其中所述第一金属醇盐前驱物与所述第二金属醇盐前驱物具有不同的金属。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司;加利福尼亚大学董事会，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。