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恭喜苏州新维度微纳科技有限公司罗刚获国家专利权

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龙图腾网恭喜苏州新维度微纳科技有限公司申请的专利纳米压印模板及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114265282B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111592119.9,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权纳米压印模板及其制造方法是由罗刚设计研发完成,并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

纳米压印模板及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种纳米压印模板及其制造方法。所述纳米压印模板包括基板和形成在基板上的单元结构。所述基板包括:基底1、第一微结构阵列层2、第一键合层4、第一柔性层11和基础层13。第一微结构阵列层包括多个第一微结构,该多个第一微结构之间通过第一空腔3间隔开。第一键合层4设置在该第一微结构阵列层2的上方且与所述第一微结构阵列层2的上表面低温键合在一起。第一插入层5设置于所述第一键合层上。第一柔性层11设置在所述第一插入层上方。基础层13设置在所述第一柔性层11上方。本发明的纳米压印模板可以有效地降低模板制造过程和使用过程中产生的应力问题。

本发明授权纳米压印模板及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种纳米压印模板,包括基板和形成在基板上的单元结构,其特征在于,所述基板包括:基底1;第一微结构阵列层2,形成于所述基底上,该第一微结构阵列层包括多个第一微结构,该多个第一微结构之间通过第一空腔3间隔开;第一键合层4,设置在该第一微结构阵列层2的上方且与所述第一微结构阵列层2的上表面低温键合在一起;第一插入层5,设置于所述第一键合层4上;第一柔性层11,设置在所述第一插入层上方;以及基础层13,设置在所述第一柔性层11上方,所述基础层的上表面用于形成所述单元结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州新维度微纳科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城20幢430室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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