恭喜芯爱科技(南京)有限公司陈敏尧获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯爱科技(南京)有限公司申请的专利线路结构的制法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116487267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210071234.X,技术领域涉及:H01L21/48;该发明授权线路结构的制法是由陈敏尧;林松焜设计研发完成,并于2022-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本线路结构的制法在说明书摘要公布了:一种线路结构的制法,包括于绝缘层中嵌埋图案化阻层,再移除该图案化阻层,以形成多个凹槽,之后将导电材填入该多个凹槽中,以形成线路层,故借由将该线路层嵌埋于该绝缘层中,以利于薄化具有该线路结构的封装基板。
本发明授权线路结构的制法在权利要求书中公布了:1.一种线路结构的制法,包括:于绝缘层中嵌埋图案化阻层,以令该图案化阻层外露于该绝缘层的表面;移除该图案化阻层,以于该绝缘层的表面上形成多个凹槽;以及形成导电材于该多个凹槽中,以令该多个凹槽中的该导电材作为线路层,其中,该绝缘层中嵌埋该图案化阻层的工艺包括:于一承载件上形成该图案化阻层,其中,该承载件上依序形成有离形膜与金属层;于该承载件上以压合方式形成该绝缘层,以令该绝缘层包覆该图案化阻层,并使该图案化阻层嵌埋于该绝缘层中;以及移除该承载件,其中,该压合方式包含以下步骤:于一支撑体上形成该绝缘层;将该支撑体以其上的绝缘层朝该承载件压合,以覆盖该图案化阻层;以及同时移除该支撑体与该金属层。
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