恭喜北海惠科半导体科技有限公司韩佳伟获国家专利权
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龙图腾网恭喜北海惠科半导体科技有限公司申请的专利晶圆压膜机及托盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114566453B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210179689.3，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶圆压膜机及托盘是由韩佳伟;孔跃春;孙汉富;张志杰;鲁艳春设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆压膜机及托盘在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种托盘及晶圆压膜机，晶圆压膜机包括：机体，包括工作盘，工作盘具有工作面；托盘，可活动地设置于工作面上；以及真空吸附装置，设置于工作盘背离工作面的一侧，用于将晶圆吸附在托盘上。本申请通过在工作盘上设置托盘来承载晶圆，可以将晶圆与工作盘进行隔离，有效防止压膜后的残留物黏附晶圆与工作盘，避免晶圆被取出过程中因受力不均导致损坏的发生，大大降低晶圆的破损率，有利于提高晶圆的压膜质量。另外，通过设置托盘，避免了压膜过程后膜体残留在工作盘上，降低工作盘的清理难度，极大地提高晶圆的压膜效率。
本发明授权晶圆压膜机及托盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆压膜机，其特征在于，包括：机体，包括工作盘，所述工作盘具有工作面；托盘，与所述工作面可拆卸连接；以及真空吸附装置，设置于所述工作盘背离所述工作面的一侧，用于将晶圆吸附在所述托盘上；所述托盘包括托盘本体和设置于所述托盘本体上的限位部，所述托盘本体和所述限位部形成容纳晶圆的容纳空间；所述限位部包括平边限位凸起，所述晶圆包括定位平面，所述平边限位凸起包括与所述定位平面配合的限位平面；所述晶圆压膜机还包括驱动装置，所述驱动装置包括动力源和与所述动力源的输出端连接的顶杆，所述顶杆远离所述动力源的一端贯穿所述工作盘并抵接至所述托盘，以驱动所述托盘靠近或者远离所述工作面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北海惠科半导体科技有限公司，其通讯地址为：536005 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司16幢三楼301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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