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龙图腾网恭喜安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114509459B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210186965.9，技术领域涉及：G01N23/207；该发明授权一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法是由王升;贺贤汉;李有群;陈辉设计研发完成，并于2022-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法，该方法通过导电型碳化硅晶片硅面和碳面X射线衍射强度的差异以及导电型碳化硅晶体生长中特有的黑芯来区别硅面和碳面。该方法解决了现有方法费时费力及对晶片带来的损伤问题，适用范围广，简单快捷，对晶片不会产生任何损伤，从而消除现有方法中晶片定位边或V型槽对晶体生长的不利影响，提高晶片质量和有效使用面积。

本发明授权一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法在权利要求书中公布了：1.一种辨别导电型碳化硅晶片硅面和碳面的方法，其特征在于，通过导电型碳化硅晶片硅面和碳面X射线衍射强度的差异以及导电型碳化硅晶体生长中特有的黑芯来区别硅面和碳面；经过如下工艺步骤：1将定向仪载物台旋转到θ角度处固定，盖革计数器旋转到2θ角度处并固定，θ为碳化硅0001面的衍射角度，数值为17.85°；2打开X射线定向仪电源及高压开关，调节管电流为0.6～1A，打开X光闸；3将导电型碳化硅晶片垂直放在载物台上，晶片一面紧贴吸盘口，晶片中心对准X射线发射窗口；4旋转晶片同时观察衍射强度指示窗口，当指针出现明显偏转时微调载物台旋转手柄，当指针偏转到最大角度时该面记录衍射强度数值a；5将晶片水平翻转180度后垂直放在载物台上，晶片另一面紧贴吸盘口，此时指针出现明显偏转，微调载物台旋转手柄，当指针偏转到最大角度时记录该面衍射强度数值b；6比较数值a和数值b的大小，并观察此时晶片内部黑芯是位于晶片上部还是下部，当黑芯位于上部时，衍射强度小的面为硅面，衍射强度大的面为碳面；当黑芯位于下部时，衍射强度小的面为碳面，衍射强度大的面为硅面。

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