恭喜浙江大学胡欢获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114804010B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210394573.1,技术领域涉及:B81C1/00;该发明授权一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法是由胡欢;吴少雄;田丰设计研发完成,并于2022-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法,属于功能材料技术领域。本发明利用模板微球光刻加等离子体刻蚀的方式,能够简单、低成本、大面积的制备表面增强红外吸收SEIRA衬底,且制备得到的SEIRA衬底中柱体阵列周期性好,保证SEIRA衬底具有较高的增强效率,解决了现有技术中SEIRA衬底无法兼顾低成本和高增强效率的问题。
本发明授权一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种表面增强红外吸收衬底的制备方法,包括以下步骤:在衬底的单面密铺单层模板微球,得到单层模板微球层-衬底制件;将所述单层模板微球层-衬底制件进行反应等离子体刻蚀,使所述模板微球的直径减小,在衬底的单面形成单层减直径模板微球,得到单层减直径模板微球层-衬底制件;将所述单层减直径模板微球层-衬底制件中的衬底进行感应耦合等离子体刻蚀,在所述衬底的单面形成柱体阵列,且所述柱体阵列中柱体的顶端保留有所述减直径模板微球,得到单层减直径模板微球层-柱体阵列-衬底制件;所述柱体的高度为0.1~1μm,直径为140nm~2.8μm,相邻柱体之间的距离为模板微球直径的减少量;将所述单层减直径模板微球层-柱体阵列-衬底制件中减直径模板微球去除,得到柱体阵列-衬底制件;在所述柱体阵列-衬底制件具有柱体阵列的表面沉积金属层,得到表面增强红外吸收衬底;所述金属层包括叠层设置的粘附层以及功能层,所述粘附层设置在所述柱体阵列-衬底制件与功能层之间;所述粘附层的材质为钛或铬,所述功能层的材质为金、铝、银、铂或铜。
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