恭喜深圳市恒运昌真空技术股份有限公司唐亚海获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114883170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210550690.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统是由唐亚海;乐卫平;林伟群;林桂浩设计研发完成，并于2022-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统。所述方法包括：对等离子体腔室进行电弧检测；电弧检测包括反射率检测、斜率检测和压力检测；根据反射率检测、斜率检测和压力检测中的任一种确定等离子体腔室内是否有电弧产生；若有电弧产生，则根据电弧产生的严重程度，对串联在等离子体腔室的主回路的接入电感进行变电感调节，抑制等离子体腔室内的电弧；变电感调节的方式为按照电弧产生的严重程度从轻到重的顺序，对应将接入电感的电感值从小到大调节。通过采用多种检测手段相结合的方式实现对等离子体腔室内是否有电弧产生的高可靠性检测，并且采用变电感的方式进行电弧抑制，达到了大幅提高腔内电弧抑制可靠性的目的。
本发明授权等离子体腔室电弧抑制方法、装置和射频电源系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体腔室电弧抑制方法，其特征在于，包括以下步骤：对等离子体腔室进行电弧检测；所述电弧检测包括反射率检测、斜率检测和压力检测；其中，利用反射率检测单元进行反射率检测；利用斜率检测单元进行斜率检测；利用压力检测单元进行压力检测；根据所述反射率检测、所述斜率检测和所述压力检测中的任一种确定所述等离子体腔室内是否有电弧产生；若有电弧产生，则根据电弧产生的严重程度，对串联在等离子体腔室的主回路的接入电感进行变电感调节，抑制所述等离子体腔室内的电弧；所述变电感调节的方式为按照电弧产生的严重程度从轻到重的顺序，对应将所述接入电感的电感值从小到大调节。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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