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龙图腾网恭喜强一半导体(苏州)股份有限公司申请的专利一种MEMS探针固定装置及整平工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115338338B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210717174.4，技术领域涉及：B21F1/02；该发明授权一种MEMS探针固定装置及整平工艺方法是由于海超;徐兴光设计研发完成，并于2022-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS探针固定装置及整平工艺方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种MEMS探针固定装置，包括姿态调整机构，以及设置在姿态调整机构上的探针限位机构，探针限位机构包括驱动设置在姿态调整机构上的支撑座，支撑座上设置有超声腔，超声腔内设置有MEMS探针限位底座；MEMS探针限位底座上设置有用于限位收纳MEMS探针的探针限位槽；MEMS探针限位底座的下部还设置有磁力吸盘。本发明提供了一种MEMS探针固定装置及整平工艺方法，能将MEMS探针在探针限位槽中摆放有序，便于定位和辅助MEMS探针的整顺以及展平的功能。

本发明授权一种MEMS探针固定装置及整平工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS探针整平工艺方法，其特征在于：采用MEMS探针固定装置实现，MEMS探针固定装置包括姿态调整机构，以及设置在姿态调整机构上的探针限位机构，所述探针限位机构包括驱动设置在姿态调整机构上的支撑座，所述支撑座上设置有超声腔，所述超声腔内设置有MEMS探针限位底座；所述MEMS探针限位底座上设置有用于限位收纳MEMS探针的探针限位槽；所述MEMS探针限位底座的下部还设置有与所述探针限位槽对应的磁力吸盘；所述探针限位机构上还设置有与所述探针限位槽对应的若干个毛刷；所述毛刷能相对所述探针限位槽上摆动拂刷；所述支撑座的上部设置有下凹的安装槽，所述磁力吸盘设置在所述安装槽内；或和，姿态调整机构包括X轴位移台，X轴位移台上驱动设置有Y轴位移台，Y轴位移台上驱动设置有探针限位机构；MEMS探针整平工艺方法，包括以下步骤：步骤S1，将设备初始化或者复位；步骤S2，MEMS探针放置到MEMS探针限位底座上；步骤S3，对探针进行超声、微位移振动、毛刷刷动，使探针对位，锁定探针；步骤S4，磁力吸附探针并查验复核探针的姿态和位置状态；步骤S5，重复步骤1~步骤4，重复次数是N次，N是自然数；步骤S6，对探针进行校正切割；步骤S7，释放探针。

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