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龙图腾网恭喜京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司申请的专利激光退火装置及激光退火系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115565915B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211352262.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权激光退火装置及激光退火系统是由陈科全;路兆里;全祥皓;李若尧;江玲;刘晓锋;王丙海;于泽;倪仁旺;熊月;张苁;王云飞;易靖洋;罗平;季子云;罗晓霜;程正东设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光退火装置及激光退火系统在说明书摘要公布了：本公开关于一种激光退火装置及激光退火系统。涉及激光退火技术领域。激光退火装置包括激光发射器、补偿机构和出光镜组。补偿机构包括分光组件、第一翻转组件、第二翻转组件和光路引导组件；分光组件用于将激光发射器发射的激光至少分为第一光束和第二光束；第一翻转组件和第二翻转组件用于将第一光束进行不同方向上的翻转。出光镜组光路引导组件用于引导第一光束在依次经过第一翻转组件和第二翻转组件后照射至出光镜组，以及引导第二光束照射至出光镜组，并与翻转后的第二光束叠加。

本发明授权激光退火装置及激光退火系统在权利要求书中公布了：1.一种激光退火装置，其特征在于，包括：激光发射器，用于发射激光；补偿机构，包括分光组件、第一翻转组件、第二翻转组件和光路引导组件；所述分光组件用于将所述激光发射器发射的激光至少分为第一光束和第二光束；所述第一翻转组件和所述第二翻转组件用于将所述第一光束进行不同方向上的翻转；出光镜组；所述光路引导组件用于引导所述第一光束在依次经过所述第一翻转组件和所述第二翻转组件后照射至所述出光镜组，以及引导所述第二光束照射至所述出光镜组，并与翻转后的所述第一光束叠加；所述第一光束为所述分光组件反射而成，所述第二光束为所述分光组件透射而成；所述第一翻转组件包括沿第一方向分布的第一柱面透镜和第二柱面透镜，所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的柱面相向设置；所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸；所述第二翻转组件包括沿所述第一方向分布的第三柱面透镜和第四柱面透镜，所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的柱面相向设置；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线平行，且垂直于所述第一方向延伸；所述第三柱面透镜和所述第四柱面透镜的中轴线与所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的中轴线垂直。

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