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恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司吴涛获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利密封门及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222649843U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420489112.7,技术领域涉及:E06B5/14;该实用新型密封门及半导体设备是由吴涛;韩彬;田永安设计研发完成,并于2024-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

密封门及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种密封门及半导体设备,密封门包括支撑板、密封板及启闭装置,密封板与支撑板相互平行且厚度方向均平行于第一方向,启闭装置包括抵顶件、配合件和驱动装置,支撑板与密封板中的一者与抵顶件活动连接、另一者与配合件固定连接,配合件与抵顶件上的抵接斜面抵接,抵顶件相对于支撑板和密封板沿第二方向平移。抵顶件具有第一位置和第二位置,抵顶件由第一位置向第二位置切换时,配合件沿抵接斜面滑动,带动密封板沿第一方向平移以远离支撑板;在第二位置时,密封板密封存储腔室。利用启闭装置来取代气囊,相较于气囊充气时间和气囊放气时间,抵顶件在第一位置和第二位置之间切换所需时长短,密封门的开门时长和关门时长可缩短。

本实用新型密封门及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种密封门,用于半导体设备,其特征在于,包括:支撑板;密封板,与所述支撑板相互平行,所述密封板沿其厚度方向具有相背设置的侧面和密封面,所述密封面远离所述支撑板,所述密封板的厚度方向及所述支撑板的厚度方向均平行于第一方向;以及启闭装置,包括抵顶件、配合件和驱动装置;所述抵顶件上形成有抵接斜面,所述抵接斜面倾斜于所述密封面,所述抵顶件活动连接于所述支撑板与所述密封板中的一者上、所述配合件固定设置于所述支撑板与所述密封板中的另一者上,所述配合件与所述抵接斜面抵接;所述驱动装置与所述抵顶件传动连接,以驱动所述抵顶件相对于所述支撑板和所述密封板沿第二方向往复平移,所述第二方向垂直于所述第一方向;所述抵顶件具有第一位置和第二位置,所述抵顶件由所述第一位置向所述第二位置切换的过程中,所述配合件沿所述抵接斜面滑动,带动所述密封板沿所述第一方向平移以远离所述支撑板;在所述第二位置时,所述密封面与所述半导体设备的存储腔室贴合,以密封所述存储腔室。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京七星华创集成电路装备有限公司,其通讯地址为:101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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