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恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权

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龙图腾网恭喜天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109802645B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201811605254.0,技术领域涉及:H03H9/00;该发明授权一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件是由庞慰;高传海;张孟伦设计研发完成,并于2018-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件在说明书摘要公布了:本发明提供一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法,其特征在于,包括:使用软印章将体声波器件薄膜从供体基底上提起;使用软印章将体声波器件放到CMOS电路上方的中间层上,并同时使体声波器件位于中间层的指定位置,指定位置具有空腔,或者指定位置具有支撑结构及牺牲层。该方法运用材料转移印刷技术将可转移体声波器件转移至目标系统平台上,最终形成3D堆叠式集成结构。该方法的优势在于:更低的成本、更高的集成度、更低的操作温度要求以及更短的操作时间。

本发明授权一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法和该器件在权利要求书中公布了:1.一种空气隙型压电体声波器件异质集成方法,其特征在于,包括:使用软印章将体声波器件薄膜从供体基底上提起;使用所述软印章将所述体声波器件放到CMOS电路上方的中间层上,并同时使所述体声波器件位于所述中间层的指定位置,所述指定位置具有空腔,或者所述指定位置具有支撑结构及牺牲层;其中,所述中间层中开有电极板窗口,电极板位于该电极板窗口中并与所述CMOS电路连接,所述电极板经由金属导电薄膜或键合线与所述体声波器件连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司,其通讯地址为:300072 天津市南开区卫津路92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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