Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
服务订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 恭喜应用材料公司亚历山大·勒纳获国家专利权

恭喜应用材料公司亚历山大·勒纳获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利具有硬掩模的基板载体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110021543B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910017054.1,技术领域涉及:H01L21/673;该发明授权具有硬掩模的基板载体是由亚历山大·勒纳;基姆·韦洛尔;阿米·萨德;史蒂文·桑索尼;安德鲁·康斯坦特;凯文·莫雷斯;罗伊·夏维夫;尼兰詹·库马尔;杰夫瑞·布罗丁;米迦勒·卡拉齐设计研发完成,并于2019-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

具有硬掩模的基板载体在说明书摘要公布了:本文公开具有硬掩模的基板载体设备。在一些实施方式中,基板载体设备包括:载体主体,具有支撑基板的支撑表面;和掩模组件,设置在所述支撑表面上方。所述掩模组件包括:环形框架,设置在所述支撑表面顶上;和硬掩模,在所述支撑表面上方耦接到所述环形框架并设置在所述环形框架内,其中所述硬掩模包括以预定图案布置并穿过所述硬掩模设置的一个或多个开口,并且其中所述硬掩模包括多个间隔件元件,所述多个间隔件元件从所述硬掩模的底表面延伸。

本发明授权具有硬掩模的基板载体在权利要求书中公布了:1.一种基板载体设备,包括:载体主体,具有支撑表面以支撑基板;和掩模组件,设置在所述支撑表面上方,所述掩模组件包括:环形框架,设置在所述支撑表面顶上;硬掩模,在所述支撑表面上方耦接到所述环形框架并设置在所述环形框架内,其中所述硬掩模包括以预定图案布置并穿过所述硬掩模设置的一个或多个开口,并且其中所述硬掩模包括多个间隔件元件,所述多个间隔件元件从所述硬掩模的底表面延伸到对应于所述硬掩模与所述基板之间的预定间隙的距离;和挠曲元件,耦接到所述环形框架,其中所述挠曲元件设置在所述硬掩模与所述环形框架之间或所述环形框架与所述支撑表面之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司,其通讯地址为:美国加利福尼亚州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。