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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利具有硬掩模的基板载体获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110021543B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910017054.1，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权具有硬掩模的基板载体是由亚历山大·勒纳;基姆·韦洛尔;阿米·萨德;史蒂文·桑索尼;安德鲁·康斯坦特;凯文·莫雷斯;罗伊·夏维夫;尼兰詹·库马尔;杰夫瑞·布罗丁;米迦勒·卡拉齐设计研发完成，并于2019-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有硬掩模的基板载体在说明书摘要公布了：本文公开具有硬掩模的基板载体设备。在一些实施方式中，基板载体设备包括：载体主体，具有支撑基板的支撑表面；和掩模组件，设置在所述支撑表面上方。所述掩模组件包括：环形框架，设置在所述支撑表面顶上；和硬掩模，在所述支撑表面上方耦接到所述环形框架并设置在所述环形框架内，其中所述硬掩模包括以预定图案布置并穿过所述硬掩模设置的一个或多个开口，并且其中所述硬掩模包括多个间隔件元件，所述多个间隔件元件从所述硬掩模的底表面延伸。

本发明授权具有硬掩模的基板载体在权利要求书中公布了：1.一种基板载体设备，包括：载体主体，具有支撑表面以支撑基板；和掩模组件，设置在所述支撑表面上方，所述掩模组件包括：环形框架，设置在所述支撑表面顶上；硬掩模，在所述支撑表面上方耦接到所述环形框架并设置在所述环形框架内，其中所述硬掩模包括以预定图案布置并穿过所述硬掩模设置的一个或多个开口，并且其中所述硬掩模包括多个间隔件元件，所述多个间隔件元件从所述硬掩模的底表面延伸到对应于所述硬掩模与所述基板之间的预定间隙的距离；和挠曲元件，耦接到所述环形框架，其中所述挠曲元件设置在所述硬掩模与所述环形框架之间或所述环形框架与所述支撑表面之间。

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