恭喜应用材料公司S·巴蒂亚获国家专利权
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龙图腾网恭喜应用材料公司申请的专利高度共线响应空间中的规范性分析获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169044B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980082795.6，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权高度共线响应空间中的规范性分析是由S·巴蒂亚;冯捷;D·坎特维尔设计研发完成，并于2019-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本高度共线响应空间中的规范性分析在说明书摘要公布了：描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组数据点。方法进一步包括：对此组数据点执行特征提取。方法进一步包括：基于特征提取确定对一个或多个制造参数的更新以满足目标数据。
本发明授权高度共线响应空间中的规范性分析在权利要求书中公布了：1.一种用于制造设备的方法，包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据；确定所述膜性质数据是相关的并且与目标数据不同，其中所述膜性质数据在两个或多个变量之间相关；由处理装置选择与所述目标数据正交的所述膜性质数据的一组数据点；由所述处理装置对所述一组数据点执行特征提取；以及基于所述特征提取，确定对所述制造参数中的一个或多个制造参数的更新以满足所述目标数据。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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